检测项目
1. 位错密度测定:测量范围104-1012 cm-2,误差≤±5%
2. 伯氏矢量分析:采用g·b=0判据法确定矢量方向及模长
3. 滑移系判定:识别{111}<110>(FCC)或{110}<111>(BCC)滑移系统
4. 层错能计算:通过扩展位错宽度反推能量值(单位:mJ/m2)
5. 动态行为观测:原位拉伸/压缩条件下记录位错运动速率(0.1-100 nm/s)
检测范围
1. 金属材料:铝合金(AA2024/7075)、钛合金(Ti-6Al-4V)等
2. 半导体材料:单晶硅(CZ-Si)、砷化镓(GaAs)晶圆
3. 高温合金:镍基超合金(Inconel 718)、钴基合金(Stellite 6B)
4. 陶瓷材料:氧化铝(Al2O3)、碳化硅(SiC)结构陶瓷
5. 复合材料:碳纤维增强钛基(Cf/Ti)复合材料界面区域
检测方法
1. ASTM E3-11:金相试样制备标准(TEM样品制备)
2. ISO 25498:2018:微束分析-电子背散射衍射分析方法
3. GB/T 13305-2008:金属材料中显微组织的定量测定方法
4. ASTM E112-13:晶粒度测定中的统计误差控制规范
5. ISO 24173:2009:微束分析-电子衍射花样标定指南
检测设备
1. JEOL JEM-ARM300F:球差校正透射电镜,分辨率0.08 nm
2. Thermo Scientific Apreo 2:场发射扫描电镜,配备EBSD探测器
3. Bruker D8 Discover:高分辨X射线衍射仪,角度精度±0.0001°
4. Gatan K3-IS:直接电子探测器,帧率40 fps@4k分辨率
5. Oxford Instruments Symmetry:EBSD探测器,采集速度6000点/秒
6. Fischione Model 1061:离子减薄仪,加速电压1-8 kV可调
7. Zeiss Crossbeam 550:聚焦离子束系统,定位精度±10 nm
8. Shimadzu EZ-Test:微力学测试机,载荷分辨率0.01 N
9. Bruker Dimension Icon:原子力显微镜,Z轴分辨率0.1 nm
10. Malvern Panalytical Empyrean:多晶XRD系统,配备高温附件