检测项目

1.线宽均匀性（CDUniformity）：测量特征尺寸在300mm晶圆上的波动范围（2nm）

2.套刻误差（OverlayAccuracy）：验证多层图形对准精度（≤1.5nm@3σ）

3.边缘粗糙度（LER/LWR）：量化线条边缘粗糙度（≤0.8nmRMS）

4.缺陷密度（DefectDensity）：统计单位面积内≥20nm的物理缺陷数量

5.膜厚均匀性（ThicknessUniformity）：测量光刻胶厚度偏差（1.5%@200nm胶厚）

检测范围

1.半导体晶圆：硅基/化合物半导体12英寸晶圆

2.光掩模版：石英基板铬膜图形（≤7nm节点）

3.光刻胶体系：ArF/DUV/EUV光敏材料

4.MEMS器件：微机电系统三维结构

5.光学元件：衍射光学元件（DOE）与微透镜阵列

检测方法

1.ASTMF533-09：扫描电镜线宽测量规范

2.ISO14648-2：微图形尺寸计量通用要求

3.GB/T35099-2018：纳米级结构扫描探针测量方法

4.SEMIP35-1103：半导体制造套刻精度测试标准

5.ISO14978:2018：几何量测量设备校准规范

检测设备

1.KLA-TencorArcher500：套刻误差测量系统（量测精度0.15nm）

2.HitachiCG6300：临界尺寸扫描电镜（0.6nm分辨率）

3.BrukerDimensionIcon：原子力显微镜（0.1nmZ轴分辨率）

4.NikonLV1500：激光干涉显微镜（0.5nm表面形貌解析）

5.ASMLYieldStar325F：光学散射测量系统（实时在线监测）

6.ZygoNewView9000：白光干涉三维轮廓仪

7.ThermoFisherHeliosG4UX：双束FIB-SEM系统

8.ParkSystemsNX-Hivision：高速原子力显微镜

9.LeicaDCM8：共聚焦显微镜（0.01nm垂直分辨率）

10.RudolphFE系列：自动膜厚测量仪（0.1nm精度）