二次离子质谱计检测

检测项目

1.表面元素分析：检测限≤1ppm，质量分辨率≥10,000（M/ΔM）

2.深度剖面分析：纵向分辨率≤5nm，溅射速率0.1-10nm/s

3.同位素比值测定：精度误差≤0.1%，动态范围>10^6

4.有机分子表征：质量范围1-10,000Da，质量精度0.001Da

5.三维成像分析：空间分辨率≤50nm（横向），层析步长≤2nm

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆、GaN外延层、光刻胶残留物

2.生物医学样品：骨组织钙磷分布、药物缓释涂层、细胞膜脂质分析

3.金属材料：高温合金晶界偏析、腐蚀产物层析、镀层界面扩散

4.陶瓷与玻璃：离子注入掺杂浓度、表面改性层厚度、微裂纹成分分析

5.环境颗粒物：PM2.5重金属分布、微塑料表面污染物、核污染微粒同位素特征

检测方法

ASTME1504-2018：二次离子质谱法测定半导体中杂质元素

ISO18114-2021：表面化学分析-二次离子质谱法校准程序

GB/T40109-2021：表面化学分析-二次离子质谱术深度剖析方法

ISO23830-2020：簇离子源SIMS有机材料分析方法

GB/T41524-2022：纳米尺度三维成分分析的SIMS技术规范

检测设备

1.CAMECAIMS7f：配备双等离子体离子源，实现ppb级痕量元素分析

2.ION-TOFTOF.SIMS5：飞行时间质量分析器，支持高分子材料分子成像

3.HidenAnalyticalSIMSWorkstation：集成气体团簇离子束（GCIB），用于有机样品无损分析

4.Ulvac-PHInanoTOFII：配备50kV液态金属离子枪，空间分辨率达30nm

5.ThermoScientificNeomaMC-SIMS：多接收器系统实现高精度同位素比值测定

6.CamecaNanoSIMS50L：七通道探测器同步采集多元素三维分布数据

7.AMETEKSIMS1280HR：高传输率磁质谱仪，适用于地质样品同位素研究

8.ShimadzuSIMS-3500：配备低温样品台（-150℃），用于生物样本冷冻分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"二次离子质谱计检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。