干涉花样检测

检测项目

1.面形偏差测量：波长范围400-1100nm，PV值精度3nm

2.表面粗糙度分析：空间频率0.1-1000mm⁻，Ra分辨率0.1nm

3.曲率半径测定：测量范围5m⁻至500m⁻，精度0.05%

4.薄膜厚度均匀性：测量厚度10nm-100μm，横向分辨率5μm

5.缺陷密度统计：可识别≥0.5μm的划痕与颗粒缺陷

检测范围

1.光学薄膜：增透膜/反射膜/滤光片的厚度均匀性与应力分布

2.半导体晶圆：硅片/砷化镓衬底表面平整度与纳米级缺陷

3.精密透镜：球面/非球面镜片的曲率半径与面形误差

4.MEMS器件：微结构台阶高度与三维形貌特征

5.金属镀层：硬质涂层厚度与界面结合状态分析

检测方法

1.相位移相干涉法：依据ISO10110-5标准执行动态相位解算

2.白光垂直扫描法：符合ASTME284-22对粗糙度测量的规范要求

3.双波长干涉技术：采用GB/T34879-2017消除相位模糊问题

4.剪切干涉测量：参照ISO14999-4进行波前畸变分析

5.数字全息显微术：满足GB/T38601-2020全场三维重构要求

检测设备

1.ZygoVerifire™XP/D激光干涉仪：波长632.8nm，PV重复性1nm

2.4DTechnologyAccuFiz动态干涉仪：抗振设计，采样速率500Hz

3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm

4.TaylorHobsonCCIHD非接触轮廓仪：最大扫描面积300mm300mm

5.FilmetricsF40薄膜分析系统：光谱范围190-1700nm

6.VeecoNT9800光学轮廓仪：20482048像素CCD阵列

7.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：120nm横向分辨率

8.TriopticsOptiSphericIFR曲面测量系统：曲率半径测量范围10000mm

9.Keysight5500原子力显微镜：Z轴噪声水平<0.05nmRMS

10.NikonNEXIVVMZ-S4540影像测量系统：复合式干涉测量模块

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"干涉花样检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。