检测项目

1.棱边直线度误差：测量轴线偏移量≤0.02mm/m（基于ISO1101:2017）

2.棱角角度偏差：允许公差0.5（参照GB/T1800.3-2020）

3.表面粗糙度Ra值：控制范围0.1-0.4μm（按ISO4287:1997评定）

4.崩边缺陷尺寸：最大允许长度≤50μm（依据SEMIM12-0709标准）

5.倒角半径一致性：公差带0.02mm（适用ASTMF534-2021）

检测范围

1.半导体晶圆（硅/碳化硅/氮化镓）切割棱边

2.光学透镜（熔融石英/氟化钙）抛光棱缘

3.蓝宝石衬底（LED用）C面加工边缘

4.压电晶体（石英/铌酸锂）定向切割面

5.激光晶体（YAG/钒酸钇）端面倒角

检测方法

1.接触式测量：执行GB/T1958-2017《产品几何量技术规范》三坐标法

2.白光干涉法：采用ISO25178-604:2013表面结构分析标准

3.激光共聚焦：依据ASTME2544-11a三维形貌重建规范

4.X射线衍射：满足GB/T8362-2018晶体取向测定要求

5.电子显微镜：按ISO16700:2016进行微区缺陷表征

检测设备

1.MitutoyoCrysta-ApexS三坐标测量机：分辨率0.1μm，配备RENISHAWSP25M扫描探头

2.BrukerContourElite白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，支持ISO25178参数组

3.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：1200万像素CCD，Z轴重复精度5nm

4.ZeissSigma500场发射电镜：配备OxfordEBSD系统，空间分辨率1.5nm

5.PanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：Cu靶光源，角度重复性0.0001

6.OlympusSTM7测量显微镜：20X-2000X连续变倍物镜，数字测微目镜精度0.5μm

7.TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪：120mm行程量程，符合ASMEB46.1标准

8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：激光扫描速率50,000点/秒，体积精度28μm

9.NikonNEXIVVMZ-S4540视频测量系统：双远心镜头，XY轴线性精度(2.5+4L/1000)μm

10.ShimadzuEZ-SX微力试验机：载荷范围0.01N-500N，用于崩边强度测试

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与晶体棱边检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。