1.电性能测试:包含静态参数(漏电流≤1nA@25℃)、动态参数(传输延迟≤5ns)、功耗(待机功耗≤10μW)及I-V特性曲线分析
2.功能验证:通过ATE设备完成逻辑功能覆盖率≥99.9%,时钟频率覆盖1MHz-5GHz范围
3.结构分析:采用SEM观测金属层厚度(5nm精度)、TEM分析栅氧层缺陷(分辨率≤0.1nm)
4.材料成分检测:XRF测定焊球铅含量(符合RoHS标准<1000ppm),SIMS分析掺杂浓度(精度1E15atoms/cm)
5.可靠性试验:HTOL高温寿命试验(125℃/1000小时)、TCT温度循环(-55℃~150℃/500次)
1.数字集成电路:包括CPU、GPU等逻辑器件功能验证与时序分析
2.模拟集成电路:涵盖ADC/DAC转换器线性度(INL≤1LSB)与噪声谱密度测试
3.存储器芯片:DRAM刷新周期测试(64ms标准)、NANDFlash擦写次数验证(≥10^5次)
4.MEMS传感器:加速度计灵敏度校准(5%误差)、陀螺仪零偏稳定性(≤10/h)
5.射频集成电路:功率放大器效率测试(PAE≥40%)、LNA噪声系数测量(NF≤2dB)
1.电性能测试依据IEC60749-26:2013半导体器件机械气候试验方法
2.失效分析执行ASTMF1375-92(2021)微电子器件失效分析标准流程
3.可靠性试验参照JEDECJESD22-A104F温度循环试验规范
4.材料成分检测采用GB/T16597-2019电子材料化学成分分析方法
5.射频特性测量遵循IEEE1528-2013射频暴露评估标准
1.KeysightB1500A半导体参数分析仪:支持DC-IV/CV测量,电压范围200V/40A
2.AdvantestV93000ATE系统:数字IC测试速率达12.8Gbps,通道数2048
3.ThermoFisherScios2DualBeamSEM:配备EDS能谱仪,成像分辨率1nm
4.BrukerD8DiscoverX射线衍射仪:材料晶体结构分析精度0.0001
5.ESPECT3-4080温箱:温度范围-70℃~180℃,变温速率15℃/min
6.Rohde&SchwarzZNB40矢量网络分析仪:频率范围10MHz-40GHz,动态范围140dB
7.Keithley4200A-SCS特征分析系统:支持脉冲IV测量(脉宽100ns)
8.FEITitanG2TEM:球差校正透射电镜,点分辨率0.07nm
9.Agilent4156C精密参数分析仪:电流测量下限0.1fA
10.SonixHS1000超声扫描显微镜:缺陷探测精度10μm@200MHz
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与集成电路检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。