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单晶硅棒检测

  • 原创官网
  • 2025-06-08 11:21:46
  • 关键字:北检研究院,单晶硅棒检测

相关:

概述:单晶硅棒检测聚焦半导体材料质量控制,核心对象为晶体结构完整性和电学性能。关键检测项目包括晶体取向偏差角(≤0.5°)、位错密度(≤100 cm⁻²)、电阻率(0.1-100 Ω·cm)、氧含量(≤1×10¹⁸ atoms/cm³)、碳含量(≤5×10¹⁶ atoms/cm³)、表面粗糙度(Ra≤0.5 nm)、载流子寿命(≥100 μs)、尺寸公差(直径偏差±0.1 mm)、掺杂浓度均匀性和缺陷密度分析。采用X射线衍射、扫描电子显微镜和光谱技术评估材料一致性。

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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

因篇幅原因,CMA/CNAS证书以及未列出的项目/样品,请咨询在线工程师。

☌ 询价

检测项目

晶体结构检测:

  • 晶体取向:偏差角度≤0.5°(参照ASTMF26)
  • 位错密度:≤100cm⁻²
  • 孪晶缺陷:无可见缺陷
电学性能检测:
  • 电阻率:0.1-100Ω·cm
  • 载流子寿命:≥100μs
  • 少子扩散长度:≥200μm
机械性能检测:
  • 硬度:≥1000HV
  • 断裂韧性:≥1.5MPa·m¹/²
化学成分分析:
  • 氧含量:≤1×10¹⁸atoms/cm³
  • 碳含量:≤5×10¹⁶atoms/cm³
  • 金属杂质:总含量≤1ppb
表面质量检测:
  • 表面粗糙度:Ra≤0.5nm
  • 划痕密度:≤1/cm²
尺寸公差测量:
  • 直径偏差:±0.1mm
  • 长度偏差:±1mm
  • 圆度:≤0.05mm
缺陷密度分析:
  • 微缺陷密度:≤1000cm⁻³
  • 层错密度:≤10cm⁻²
掺杂浓度检测:
  • 硼浓度:1×10¹⁵-1×10¹⁹atoms/cm³
  • 磷浓度:1×10¹⁵-1×10²⁰atoms/cm³
热性能测试:
  • 热膨胀系数:2.6×10⁻⁶/K
  • 热导率:148W/m·K
光学性能评估:
  • 折射率:3.42
  • 吸收系数:≤10cm⁻¹@632.8nm

检测范围

1.直径100mmP型单晶硅棒:用于太阳能电池制造,重点检测电阻率均匀性和位错密度

2.直径150mmN型单晶硅棒:应用于高效光伏组件,侧重载流子寿命和掺杂浓度一致性

3.直径200mm单晶硅棒:服务于半导体器件,检测晶体取向精度和表面粗糙度

4.低氧单晶硅棒:用于功率电子器件,重点控制氧含量和热膨胀系数

5.高阻单晶硅棒:适用于辐射探测器,检测电阻率范围和少子扩散长度

6.掺硼单晶硅棒:针对特定半导体应用,侧重硼浓度分布和机械强度

7.掺磷单晶硅棒:用于N型器件,检测磷浓度均匀性和电学性能稳定性

8.8英寸单晶硅棒:应用于集成电路制造,重点评估缺陷密度和尺寸公差

9.12英寸单晶硅棒:服务于先进芯片生产,侧重整体晶体质量和热导率

10.定制尺寸单晶硅棒:根据用户需求,检测关键参数如表面划痕密度和光学性能

检测方法

国际标准:

  • ASTMF26单晶硅晶体取向测试方法
  • SEMIMF1726硅材料电阻率标准测试
  • ISO14707表面化学成分分析规范
国家标准:
  • GB/T12963单晶硅晶体缺陷检测方法
  • GB/T1550半导体材料电阻率测试
  • GB/T17473硅材料氧碳含量测定
方法差异说明:ASTM标准优先使用X射线衍射法,而GB标准整合了激光干涉测量以提高精度;ISO表面分析要求氩离子溅射,而GB标准增加了FTIR光谱辅助验证

检测设备

1.X射线衍射仪:RigakuSmartLab型号(角度分辨率0.0001°)

2.扫描电子显微镜:HitachiSU5000型号(分辨率1nm)

3.原子力显微镜:BrukerDimensionIcon型号(扫描范围100μm)

4.傅里叶变换红外光谱仪:ThermoScientificNicoletiS50型号(波数范围4000-400cm⁻¹)

5.四探针电阻率测试仪:Keithley2450型号(量程0.1mΩ-100MΩ)

6.载流子寿命测试仪:SintonInstrumentsWCT-120型号(精度±5%)

7.维氏硬度计:WilsonVH1150型号(载荷10-1000gf)

8.表面轮廓仪:ZygoNewView8300型号(垂直分辨率0.1nm)

9.热膨胀系数测试仪:NetzschDIL402C型号(温度范围-150°C-1600°C)

10.光学显微镜:OlympusBX53型号(放大倍率50-1000x)

11.质谱仪:Agilent8800型号(检测限0.1ppb)

12.X射线荧光光谱仪:ShimadzuEDX-7000型号(元素范围Na-U)

13.拉曼光谱仪:RenishawinVia型号(激光波长532nm)

14.热导率测试仪:TAInstrumentsDTC-300型号(精度±3%)

15.坐标测量机:MitutoyoCMM型号(精度

北检(北京)检测技术研究院【简称:北检院】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

以上是与"单晶硅棒检测"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。

    材料检测服务

    专业分析各类金属、非金属材料的成分、结构与性能,提供全面检测报告和解决方案。包括金属材料力学性能测试、高分子材料老化试验、复合材料界面分析等。

    化工产品分析

    精准检测各类化工产品的成分、纯度及物理化学性质,确保产品质量符合国家标准。服务涵盖有机溶剂分析、催化剂表征、高分子材料分子量测定等。

    环境检测服务

    提供土壤、水质、气体等环境检测服务,助力环境保护与污染治理,共建绿色家园。包括VOCs检测、重金属污染分析、水质生物毒性测试等。

    科研检测认证

    凭借专业团队和先进设备,致力于为企业研发、质量控制及市场准入提供精准可靠的技术支撑,助力品质提升与合规发展。