检测项目

1.原子分辨率成像：分辨率≤0.1nm（STEM-HAADF模式）

2.元素成分分析：EDS面扫精度0.5wt%，元素探测限≤0.1at%

3.晶体结构解析：选区电子衍射（SAED）晶面间距测量误差≤0.002nm

4.电子能量损失谱：EELS能量分辨率≤0.3eV（零损失峰半高宽）

5.三维重构分析：层析成像角度范围70，切片厚度≤1nm

检测范围

1.纳米材料：量子点、碳纳米管、二维材料（石墨烯/MoS2）

2.半导体器件：FinFET结构、III-V族异质结、存储单元界面

3.金属材料：高熵合金晶界结构、析出相成分分布

4.催化剂材料：贵金属负载型催化剂颗粒分散度（≤0.5nm）

5.生物样品：冷冻固定蛋白质复合体（低温样品台-170℃）

检测方法

ASTME986-04(2019)扫描电镜操作标准化规程

ISO16700:2016微束分析-扫描电镜校准方法

GB/T27788-2020微束分析扫描电镜图像放大倍率校准

ISO25498:2018微束分析电子显微镜选区电子衍射法

GB/T36422-2018微束分析电子能量损失谱分析方法通则

检测设备

1.ThermoScientificTitanThemisZ：双球差校正器，信息分辨率0.06nm

2.JEOLARM-300F：冷场发射枪，STEM分辨率0.078nm

3.FEISpectra300：单色化电子源，EELS能量分辨率0.15eV

4.HitachiHF5000：六极球差校正系统，最大加速电压200kV

5.NionHERMES-100：超高能量分辨率EELS（<30meV）

6.ZeissLibra200MC：CCD相机系统（4k4k像素）

7.GatanK3-IS：直接电子探测器，帧率1600fps

8.FischioneModel2060：低温样品台（-196℃~600℃）

9.BrukerQuantaxEDS：硅漂移探测器（SDD）有效面积100mm

10.GatanGIFQuantumER：能量过滤成像系统（能量分辨率0.3eV）