检测项目
1.晶体结构分析:采用XRD测定空间群类型(如Fm-3m,P63/mmc)及原子占位率(精度0.02)
2.晶格常数测定:精度达0.0001nm的布拉格角扫描(2θ范围20-80)
3.晶粒取向分布:EBSD分析取向差角分辨率≤0.5
4.相纯度检测:Rietveld精修定量相含量(检出限0.5wt%)
5.热稳定性测试:DSC/TGA联用测定相变温度(0.5℃)
检测范围
1.金属合金:镍基高温合金(Inconel718)、钛铝合金(Ti-6Al-4V)
2.半导体材料:单晶硅(111)晶圆、GaN外延层
3.陶瓷材料:氧化锆(3Y-TZP)、碳化硅(SiC)烧结体
4.高分子材料:聚偏氟乙烯(PVDF)β相薄膜
5.纳米材料:金纳米棒(直径10-50nm)的晶面指数标定
检测方法
1.ASTME112-13:晶粒度测定电子背散射衍射法
2.ISO14705:2016:多晶材料X射线衍射定量分析
3.GB/T13301-2019:金属材料显微组织检验通则
4.ASTMD8356-21:聚合物结晶度同步辐射测试法
5.GB/T36065-2018:纳米材料X射线衍射表征方法
检测设备
1.X射线衍射仪:PANalyticalEmpyrean(CuKα,λ=1.5406)
2.场发射扫描电镜:ThermoFisherApreo2(分辨率1.2nm@1kV)
3.透射电子显微镜:JEOLJEM-ARM300F(球差校正,STEM-HAADF)
4.同步辐射光源:上海光源BL14B1线站(能量范围5-20keV)
5.电子背散射衍射系统:OxfordSymmetryS2(采集速度3000pps)
6.综合热分析仪:NETZSCHSTA449F5(最高温度1600℃)
7.拉曼光谱仪:RenishawinViaQontor(空间分辨率0.5μm)
8.原子力显微镜:BrukerDimensionIcon(扫描范围90μm)
9.X射线光电子能谱:KratosAXISSupra(能量分辨率0.48eV)
10.三维X射线显微镜:ZEISSXradia620Versa(体素尺寸0.7μm)