检测项目

1. 载流子浓度测试：测量范围1E14-1E20 cm⁻³，精度±5%

2. 击穿电压测试：DC 0-10kV可调，漏电流分辨率0.1nA

3. 霍尔效应分析：磁场强度0.5-1.5T，温度范围77-400K

4. XRD晶体结构分析：2θ角5°-90°，步长0.02°

5. FTIR光谱检测：波数范围400-4000cm⁻¹，分辨率4cm⁻¹

6. 表面粗糙度测试：Ra 0.1-100nm量程

检测范围

1. 单晶硅片：6/8/12英寸晶圆

2. III-V族化合物半导体：GaAs、GaN衬底及外延片

3. 光刻胶材料：DUV/EUV级化学组分分析

4. 封装材料：EMC环氧模塑料CTE值测定

5. 溅射靶材：纯度≥99.999%金属杂质分析

6. 键合线材：Au/Cu/Al丝拉伸强度测试

检测方法

1. ASTM F723载流子浓度四探针法

2. ISO 14647阳极氧化膜厚度测量

3. GB/T 4937-2023半导体器件机械应力试验

4. JESD22-A110温度循环加速寿命试验

5. SEMI MF1521湿法化学腐蚀速率测定

6. IEC 60749-25功率循环可靠性评估

检测设备

1. Lucas Labs 302-4P四探针电阻测试仪

2. Keysight B1505A功率器件分析系统

3. Bruker D8 ADVANCE XRD衍射仪

4. Thermo Scientific Nicolet iS50 FTIR光谱仪

5. KLA Tencor P-17表面轮廓仪

6. Agilent 4156C精密半导体参数分析仪

7. Hitachi SU5000场发射扫描电镜

8. MMR Technologies K20变温霍尔测试系统

9. Instron 5967双柱力学试验机

10. PerkinElmer NexION 350D ICP-MS

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与半导体材料测试相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。