检测项目

1. 电子密度：测量范围1×10⁹-1×10¹² cm⁻³，精度±5%

2. 离子温度：检测区间300-10000 K，分辨率0.1 eV

3. 中性粒子密度：覆盖浓度1×10¹³-1×10¹⁶ cm⁻³

4. 电场强度：量程0.1-100 V/cm，频率响应DC-10 MHz

5. 空间电位分布：三维定位精度±0.05 mm

检测范围

1. 半导体晶圆刻蚀工艺腔体环境

2. 等离子体灭菌设备工作介质

3. 航天器表面防静电涂层处理环境

4. 高功率激光器电离区气体组分

5. 光学镀膜真空腔体残余气体

检测方法

1. Langmuir探针法（ASTM F1467-2018）

2. 微波干涉测量法（ISO 13370:2017）

3. 激光诱导荧光法（GB/T 28821-2018）

4. 四极质谱分析法（GB/T 32293-2015）

5. 光谱辐射诊断法（ISO 21258:2010）

检测设备

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与轻度电离气体检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。