检测项目

表面平整度检测：RMS值≤λ/20（λ=632.8nm），PV值≤λ/4，检测区域Φ300mm

反射率均匀性检测：波长范围380-2500nm，不均匀性≤±1.5%

透射波前误差检测：测量精度λ/100，动态范围±50λ

局部曲率半径偏差检测：分辨率0.01m^-1，检测精度±0.05%

涂层厚度均匀性检测：纳米级分辨率（±2nm），检测速度≥50点/分钟

检测范围

光学镜头组件：包含球面/非球面镜片、棱镜的透射波前与表面形貌检测

显示面板玻璃：TFT-LCD/OLED基板平整度与应力分布检测

功能性薄膜材料：ITO导电膜、AR镀膜的厚度均匀性与表面缺陷检测

精密模具表面：注塑模具型腔的微米级曲率连续性验证

半导体晶圆：硅片表面纳米级起伏与边缘平整度检测

检测方法

激光相移干涉法：依据ASTM E430标准，采用4D动态干涉系统实现纳米级表面形貌重建

白光垂直扫描术：基于ISO 25178规范，运用共焦显微技术测量多层透明介质厚度

傅里叶变换红外光谱法：执行ISO 13468标准，检测宽谱段反射率均匀性分布

数字全息显微术：符合ISO 14978要求，实现大视场动态表面缺陷检测

高密度点云扫描：依据ASTM F2459标准，通过激光三角测量获取三维形貌数据

检测设备

Zygo Verifire MST干涉仪：配备600mm大口径参考镜，支持非球面元件λ/100精度检测

Keyence VR-5000轮廓仪：集成20nm分辨率激光探头与自动对焦系统

Bruker ContourGT-X3：白光干涉系统，垂直分辨率0.1nm，扫描速度30mm/s

Olympus LEXT OLS5000：405nm激光共焦显微镜，XYZ重复精度±10nm

Mitutoyo CMM Quick Vision Pro：多传感器复合测量系统，定位精度0.6+L/600μm

技术优势

持有CNAS（注册号：详情请咨询工程师）和CMA（2023005678）双重认证资质

配备12台进口高精度设备，建立0.01μm级计量溯源体系

检测团队含5名光学计量高级工程师，累计完成3200+复杂曲面检测案例

通过ISO/IEC 17025体系认证，建立12项平场检测专用SOP规程

参与制定GB/T 19842-202X《光学元件表面平整度测试方法》行业标准

　　以上是与平场检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。