检测项目

层析深度分析：0.1-50μm深度范围，步长精度±0.5nm

浓度分辨率检测：元素浓度梯度分辨率达0.1at%

元素分布均匀性：三维空间分布标准差≤2.5%

界面扩散系数测定：检出限10¹⁸ atoms/cm³

氧化层厚度检测：精度±1.5nm（适用于5-200nm氧化层）

检测范围

金属合金材料：检测渗碳/渗氮层、电镀层元素扩散梯度

半导体材料：分析离子注入掺杂浓度分布及PN结特性

高分子复合材料：评估添加剂在基体中的垂直迁移规律

功能性涂层：检测PVD/CVD涂层的成分梯度与结合强度

生物医学材料：测定羟基磷灰石涂层钙磷比梯度变化

检测方法

X射线光电子能谱(XPS)：符合ASTM E1078标准，深度分辨率3nm

二次离子质谱(SIMS)：执行ISO 23812规范，检测限达ppb级

辉光放电光谱(GDOES)：依据ISO 14707:2021，分析速率0.5μm/min

俄歇电子能谱(AES)：采用ASTM E827标准，空间分辨率10nm

聚焦离子束-电镜(FIB-SEM)：满足ISO 21363纳米尺度三维重构要求

检测设备

Thermo Scientific K-Alpha XPS：配备Al Kα单色源，结合Ar⁺溅射系统实现深度剖析

ION-TOF TOF.SIMS 5：双束分析模式，质量分辨率m/Δm＞17,000

Horiba GD-Profiler 2：4MHz射频源，支持深度分辨率＜1nm/层

PHI 710 AES：纳米探针系统，束斑直径＜8nm

Zeiss Crossbeam 550 FIB-SEM：30kV Ga⁺离子束，配EDX/EBSD联用模块

技术优势

获得CNAS认可（注册号：详情请咨询工程师）和ISO/IEC 17025认证

配备15名专业检测工程师团队，平均从业年限＞8年

建立材料数据库覆盖2000+种标准样品比对数据

自主研发深度校准算法，通过NIST SRM 2135认证

具备三维重构能力，可生成可视化成分分布模型

　　以上是与浓度深度曲线测试相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。