电子轰击蒸发检测

检测项目

1. 蒸发速率稳定性：测量范围0.1-50 Å/s，波动率≤±3%

2. 膜层厚度均匀性：300mm基片内厚度偏差≤±1.5%

3. 基底温度控制：工作温度范围50-800℃，精度±2℃

4. 元素污染分析：二次离子质谱(SIMS)检测杂质含量≤0.1at%

5. 表面粗糙度：原子力显微镜(AFM)测量Ra≤0.5nm

检测范围

1. III-V族半导体材料：GaAs、InP等化合物薄膜

2. 光学镀膜材料：SiO₂、Ta₂O₅等高折射率介质膜

3. 金属导电层：Al、Cu、Au等纯度≥99.999%的电极薄膜

4. 超硬涂层：TiN、CrN等PVD涂层

5. 二维材料：石墨烯过渡层、MoS₂润滑膜

检测方法

1. ASTM F1526-21 电子束蒸发系统性能测试规范

2. ISO 14606:2015 表面化学分析-溅射深度剖析

3. GB/T 31369-2015 太阳电池用透明导电氧化物薄膜规范

4. GB/T 38823-2020 硬质涂层结合强度测定方法

5. ISO 21283:2018 纳米颗粒尺寸分布的扫描电镜测定法

检测设备

1. Denton Vacuum Discovery 635电子束蒸发系统：配备10kW电子枪和四工位坩埚

2. Veeco Dektak XTL台阶仪：垂直分辨率0.1Å，扫描长度100mm

3. Thermo Scientific Nexsa G2 XPS：单色Al Kα光源，空间分辨率7.5μm

4. Bruker Dimension Icon原子力显微镜：ScanAsyst模式自动优化扫描参数

5. Keithley 4200A-SCS参数分析仪：支持IV/CV/脉冲模式薄膜电学测试

6. Malvern Panalytical Empyrean XRD：配置高温附件(1200℃)

7. Agilent 8900 ICP-MS：检出限达ppt级金属杂质分析

8. ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM：5nm分辨率双束系统

9. MTS Nanoindenter G200：连续刚度测量模量精度±3%

10. Ulvac PHI 710 Auger谱仪：纳米级纵向成分分析能力

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子轰击蒸发检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。