检测项目

1.线宽精度：测量轮廓线宽偏差值（0.5μm~5μm）

2.边缘粗糙度（Ra）：评估表面微观不平度（0.05-1.6μm）

3.角度公差：检测轮廓夹角偏差（0.1~2）

4.曲率半径：分析圆弧段半径误差（0.01mm~0.5mm）

5.位置偏移量：测定特征点坐标偏差（X/Y轴2μm~20μm）

6.阶梯高度差：测量多层结构垂直落差（0.1-500μm）

检测范围

1.PCB电路板线路轮廓

2.金属冲压件成型边缘

3.光学镜片研磨面形

4.注塑模具型腔边界

5.半导体晶圆切割道

6.陶瓷基板印刷图案

检测方法

1.ASTME112晶粒度测定法（轮廓特征量化）

2.ISO1101几何公差标准（形状位置公差判定）

3.GB/T1804-2000线性尺寸未注公差（通用轮廓控制）

4.ISO4287表面粗糙度参数（边缘质量评估）

5.GB/T11337-2004平面度误差测量（三维轮廓分析）

6.ASTMD3359附着力测试（边界结合强度验证）

检测设备

1.OlympusDSX1000数码显微镜：5000倍光学放大+3D轮廓重建

2.KeyenceVHX-7000超景深显微镜：0.1μm分辨率+自动拼接测量

3>MitutoyoQuickVisionPro影像仪：XYZ轴1μm重复精度

4.ZeissO-INSPECT复合式三坐标：多传感器融合测量系统

5.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.01nm垂直分辨率

6.HexagonAbsoluteARM激光扫描臂：7轴联动动态跟踪

7.NikonNEXIVVMZ-S454视频测量系统：双远心光学系统

8.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：12种可换物镜配置

9.JenoptikWaveline干涉测量仪：波长扫描相位分析技术

10.TaylorHobsonTalysurfi系列轮廓仪：0.8nm粗糙度测量精度

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与描边检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。