检测项目

1.线宽精度：测量线宽偏差值（0.2μm内），采用激光干涉法校准

2.线距一致性：相邻线路间距波动≤1.5μm（@50μm基准间距）

3.表面粗糙度：Ra值≤0.05μm（接触式探针扫描）

4.方阻均匀性：电阻值波动≤5%（四探针法多点测试）

5.附着力强度：划格法测试（3M胶带剥离无脱落）

6.耐候性测试：85℃/85%RH环境500小时阻抗变化率≤8%

检测范围

1.ITO导电玻璃膜（厚度80-200nm）

2.纳米银线透明导电膜（线径20-50nm）

3.金属网格电容屏镀层（线宽3-10μm）

4.光伏背板电路层（铜线厚度182μm）

5.车载触控屏防爆膜（耐冲击强度≥5J）

6.AR抗反射镀膜层（透光率≥92%）

检测方法

国际标准：ASTMF1711-13（导电薄膜方阻测试）、ISO14707:2021（辉光放电光谱法）

国家标准：GB/T31370.2-2015（平板显示器用透明导电膜）、GB/T4340.1-2009（显微维氏硬度）

行业规范：SJ/T11483-2014（触控屏用ITO薄膜）、IEC62805-1:2017（光伏组件电极测试）

检测设备

1.OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜（三维形貌重建/0.01μm分辨率）

2.KeyenceVHX-7000数字显微镜（5000倍放大/自动拼接测量）

3.Agilent4156C精密半导体分析仪（1fA电流分辨率/四探针测试）

4.ZygoNewView9000白光干涉仪（表面粗糙度测量/0.1nm垂直分辨率）

5.Instron5944万能材料试验机（附着力测试/0.5N精度）

6.ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪（镀层结晶度分析）

7.EspecPL-3KPH气候箱（温湿度循环/盐雾试验）

8.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（非接触式三维尺寸测量）

9.HitachiSU8200场发射电镜（纳米级线宽形貌观测）

10.FourDimensions4PP-Pro四探针测试台（薄层电阻自动测绘）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与玻璃膜微细线检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。