检测项目

1.光斑直径测量：激光束质量分析（M≤1.3），发散角测试（0.1-5mrad）

2.扫描线性度校准：X/Y轴位移精度（0.1μm/100mm），非线性误差＜0.05%

3.反射率梯度检测：动态范围60dB@532nm，灵敏度0.1%反射率差异

4.三维形貌重建：Z轴分辨率0.01μm（20X物镜），采样频率200kHz

5.缺陷识别分析：最小可检缺陷尺寸0.2μm（NA=0.95），分类准确率≥99.7%

检测范围

1.光学薄膜：AR/IR镀膜层厚度（50-500nm）、膜层均匀性（＜1%）

2.半导体晶圆：12英寸硅片表面颗粒（≥0.12μm）、刻蚀深度（5-200μm）

3.微电子封装：BGA焊球共面性（15μm）、金线弧度（25-50μm）

4.精密模具：V型槽角度公差（0.05）、表面粗糙度Ra0.01-0.8μm

5.生物医疗器件：微流控通道尺寸（50-500μm）、药物涂层厚度（1-20μm）

检测方法

ASTME2544-11a：激光扫描共焦显微镜校准规范（XYZ轴定位精度验证）

ISO25178-602：非接触式光学三维测量系统性能验证方法

GB/T34879-2017：微纳米尺度几何量测量仪器校准规范

GB/T26194-2010：扫描电子显微镜能谱仪分析方法通则

ISO14978:2018：几何产品规范(GPS)测量设备通用要求

检测设备

1.KeyenceVK-X3000：3D激光显微系统，配备405nm紫色激光（120nm横向分辨率）

2.ZeissLSM900：共聚焦显微镜系统，支持多光子成像（Z轴步进精度10nm）

3.OlympusDSX1000：数字显微镜系统，具备景深扩展功能（23倍动态范围）

4.BrukerContourGT-X3：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm（100XMirau物镜）

5.NikonNEXIVVMZ-S656F：视频测量系统，双远心光学设计（0.5μm/m精度）

6.MitutoyoQuickVisionPro：光学影像仪，配备环形LED光源（20481536像素CCD）

7.HexagonOptivPerformance443：多传感器测量机，集成接触式探针与激光扫描头

8.SensofarSneox：3D光学轮廓仪，采用PSI/VSI混合测量技术（0.01nm垂直分辨率）

9.CyberTechnologiesCT500：X射线断层扫描系统（微焦点源1-5μm焦点尺寸）

10.AliconaInfiniteFocusG5：变焦光学三维测量系统（20nm垂直分辨率）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与光点扫描比检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。