检测项目

三维尺寸公差检测：X/Y/Z轴重复定位精度±0.05μm，配合激光干涉仪实现亚微米级校准

表面粗糙度与波纹度分析：Ra≤0.02μm（ISO 4287），Waviness 0.1-10mm波段滤波测量

纳米压痕力学性能测试：载荷分辨率10nN（ISO 14577），弹性模量误差≤1.5%

元素成分定量分析：EDS/WDS检测限0.01wt%（ASTM E1508），能谱分辨率≤125eV

晶粒度与相结构表征：EBSD取向成像精度0.5°（ASTM E2627），物相识别匹配度>98%

检测范围

金属合金：航空级钛合金锻件、硬质合金刀具、形状记忆合金丝材

高分子材料：医用级PEEK植入物、液晶聚合物（LCP）连接器、碳纤维增强复合材料

陶瓷基材料：氮化硅轴承球、氧化锆齿科修复体、碳化硅半导体衬底

精密电子元件：MEMS传感器芯片、射频滤波器镀层、晶圆级封装结构

光学元件：自由曲面透镜、激光陀螺反射镜、红外硫系玻璃

检测方法

ASTM E112：晶粒度统计分析中的截距法与面积法

ISO 25178-2：非接触式白光干涉仪表面形貌测量规范

ASTM E384：微硬度测试的载荷-位移曲线校准流程

ISO 17025：检测系统期间核查与测量不确定度评定

ASTM F3122：基于聚焦离子束（FIB）的横截面制备标准

检测设备

三坐标测量机：Mitutoyo CMM-10000，配备Renishaw SP25M扫描探头，最大允许误差MPEE=1.8+L/350μm

场发射扫描电镜：JEOL JSM-7900F，束斑直径0.8nm@15kV，配备牛津Ultim Max 170mm² EDS探测器

X射线衍射仪：Bruker D8 ADVANCE，角度重复性±0.0001°，具备高温真空附件（RT-1600℃）

原子力显微镜：Bruker Dimension Icon，峰值力轻敲模式，Z轴噪声＜0.05nm

辉光放电质谱：Thermo Scientific GD-MS Pro，检出限达ppb级，深度分辨率10nm/层

技术优势

CNAS 详情请咨询工程师5：通过中国合格评定国家认可委员会认证，检测报告国际互认

CMA 2023XYZ：检验检测机构资质认定覆盖32项精密检测项目

ISO/IEC 17025：建立全过程可追溯的质量控制体系，测量不确定度评定符合GUM规范

专业技术团队：15名持有ASNT/CSNT三级认证工程师，年均完成超2000项高难度检测案例

设备溯源体系：所有量具均通过NIM/PTB计量溯源，定期参与ILAC国际比对实验

　　以上是与三倍精度检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。