检测项目

椭圆主/副轴半径偏差：测量范围±0.05mm，分辨率0.1μm

曲率半径一致性：曲面拟合精度≤1.5μm RMS

表面轮廓波动度：评价长度4mm，取样间距0.02mm

多焦点椭圆同步度：轴向偏差容限±2μm

材料厚度均匀性：厚度公差±0.01mm（视材料类型调整）

检测范围

金属精密部件：航空发动机涡轮叶片、导弹导引头壳体等

聚合物光学元件：非球面透镜、自由曲面镜片

陶瓷基复合材料：卫星反射镜基座、高温传感器壳体

单晶硅晶圆：微电子机械系统（MEMS）结构层

特种玻璃制品：激光谐振腔反射镜、光纤耦合器端面

检测方法

接触式测量法：依据ASTM E177标准，使用探针式三坐标测量机进行离散点采样

白光干涉法：执行ISO 25178标准，通过相移干涉术获取纳米级表面形貌

激光跟踪法：采用ISO 10360-10规范，建立动态坐标系进行大尺寸工件测量

数字图像相关法：基于ISO 22007-6标准，实现全场应变与形变分析

共聚焦显微术：参照ISO 14978要求，完成亚微米级三维轮廓重构

检测设备

Hexagon Leitz PMM-F 30.20.16：超高精度三坐标测量机，空间精度0.6+L/400 μm

Zygo NewView 9000：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.4μm

FARO VantageS6：激光跟踪仪，测距精度±5μm+0.5μm/m，角度精度±0.9角秒

Keyence VR-6000：共聚焦显微镜，最大倍率5000X，Z轴重复性10nm

Mitutoyo CMM-C7006：多传感器复合测量系统，集成接触/光学双探测模块

技术优势

通过CNAS（中国合格评定国家认可委员会）认可实验室认证（注册号：CNAS 详情请咨询工程师）

检测能力覆盖ISO/IEC 17025:2017全部技术要求，获ILAC-MRA国际互认资质

配备二级计量标准装置，定期参与NIST标准件国际比对验证

技术团队含3名高级注册计量师及5名ASQ认证质量工程师

建立基于蒙特卡洛法的测量不确定度评估模型，扩展不确定度U≤0.8μm（k=2）

　　以上是与三半径椭圆检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。