浅能级检测概述:检测项目1.载流子浓度:测量范围1E10-1E18cm⁻,精度5%2.缺陷态密度:分辨率≥1E10cm⁻eV⁻3.激活能测定:温度范围80-500K,误差0.01eV4.俘获截面分析:跨导法测量精度10%5.复合中心表征:时间常数0.1μs-10s检测范围1.半导体材料:硅(Si)、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)2.光伏材料:晶体硅电池、钙钛矿薄膜3.绝缘材料:氧化硅(SiO₂)、氮化硅(Si₃N₄)4.宽禁带半导体:氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)5.功能陶瓷:压电陶瓷、热释电材料检测方法1.D
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
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1.载流子浓度:测量范围1E10-1E18cm⁻,精度5%
2.缺陷态密度:分辨率≥1E10cm⁻eV⁻
3.激活能测定:温度范围80-500K,误差0.01eV
4.俘获截面分析:跨导法测量精度10%
5.复合中心表征:时间常数0.1μs-10s
1.半导体材料:硅(Si)、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)
2.光伏材料:晶体硅电池、钙钛矿薄膜
3.绝缘材料:氧化硅(SiO₂)、氮化硅(Si₃N₄)
4.宽禁带半导体:氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)
5.功能陶瓷:压电陶瓷、热释电材料
1.DLTS法:依据ASTMF42-20与GB/T29848-2013标准
2.热激电流谱(TSC):执行ISO14707:2015规程
3.光电容法(OCP):参照IEC62969-2:2018规范
4.瞬态光电导衰减(TPCD):采用GB/T35032-2018标准
5.光致发光谱(PL):符合JISC8936:2019技术要求
1.深能级瞬态谱仪DLTS-8000:温度扫描精度0.1K
2.Bio-RadPN4300C半导体分析系统:支持C-V/L-V多模式测量
3.AgilentB1500A参数分析仪:最小电流分辨率1fA
4.JanisCCS-400低温恒温器:温控范围4-600K
5.HoribaLabRAMHREvolution光谱仪:光谱分辨率0.35cm⁻
6.Keithley4200A-SCS测试平台:集成脉冲IV/CV模块
7.LakeShoreCRX-4K探针台:四轴精密定位系统
8.OxfordInstrumentsOptistatDN低温系统:闭环氦循环制冷
9.ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪:中红外波段检测
10.KeysightB2902A精密源表:电压分辨率1μV
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与浅能级检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。