检测项目

1.刻线角度偏差：测量实际角度与设计值的偏离度（0.05精度）

2.对称性误差：量化V型槽两侧斜面角度差（分辨率0.01）

3.边缘锐度：评估刃口曲率半径（测量范围0.1-50μm）

4.周期一致性：分析相邻刻线间距波动（重复精度0.2μm）

5.表面粗糙度：测定刻槽底面Ra值（0.01-1.6μm量程）

检测范围

1.单晶硅太阳能电池板表面织构

2.碳化硅功率器件沟槽栅极

3.蓝宝石衬底图形化结构

4.光学衍射元件微结构阵列

5.MEMS器件微流道刻蚀特征

检测方法

ASTMB934-20《微结构横截面几何特性测试方法》

ISO25178-605:2020《非接触式光学轮廓仪校准规范》

GB/T34879-2017《微纳米结构几何量测量方法》

GB/T6062-2009《产品几何技术规范表面结构轮廓法测量标准》

ISO14978:2018《几何产品规范(GPS)测量设备通用要求》

检测设备

1.TaylorHobsonPGIOptics1240：非接触式三维形貌仪（垂直分辨率0.1nm）

2.ZygoNewView9000：白光干涉表面轮廓仪（横向分辨率0.3μm）

3.KeyenceVR-6000：共聚焦激光显微镜（Z轴重复精度10nm）

4.BrukerContourGT-K：光学轮廓测量系统（扫描速度200μm/s）

5.ZeissO-Inspect322：复合式三坐标测量机（空间精度1.1+L/350μm）

6.OlympusLEXTOLS5000：激光扫描显微镜（1200万像素CCD）

7.MitutoyoQuickVisionPro：影像测量系统（双远心光学系统）

8.NikonMM-400：万能工具显微镜（物镜倍率5X-100X）

9.SensofarSneox：3D光学轮廓仪（多模式混合测量技术）

10.AliconaInfiniteFocusG5：变焦聚焦测量系统（垂直分辨率10nm）