检测项目

1.晶格常数测量：精度0.05nm（X射线衍射法）

2.缺陷密度分析：分辨率≤110cm⁻（透射电子显微镜）

3.热膨胀系数测试：温度范围-196C~1200C（热机械分析仪）

4.光学带隙测定：光谱范围190-2500nm（紫外-可见分光光度计）

5.应力分布表征：空间分辨率50nm（拉曼光谱成像系统）

检测范围

1.半导体材料：砷化镓（GaAs）、氮化镓（GaN）单晶片

2.光子晶体：周期性介电结构（周期200-800nm）

3.光学薄膜：TiO₂/SiO₂多层镀膜（厚度50-500nm）

4.量子点材料：CdSe/ZnS核壳结构（粒径3-10nm）

5.超表面器件：金属/介质纳米天线阵列（单元尺寸<λ/2）

检测方法

1.X射线衍射法：ASTME1426-14(2020)、GB/T23413-2009

2.电子背散射衍射：ISO24173:2009、GB/T28872-2012

3.拉曼光谱分析：ISO21501-4:2018、GB/T36065-2018

4.原子力显微镜法：ASTME2859-11(2020)、GB/T35099-2018

5.椭偏测量技术：ISO14707:2015、GB/T39489-2020

检测设备

1.PANalyticalEmpyreanX射线衍射仪：配备高温附件（1200C）和高精度测角器（0.0001）

2.FEITalosF200X透射电镜：STEM模式分辨率0.16nm，EDS元素分析精度0.1at%

3.RenishawinViaQontor拉曼系统：532/785nm双激光源，空间分辨率350nm

4.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：峰值力轻敲模式，Z轴分辨率0.1nm

5.HoribaLabRAMHREvolution光谱仪：紫外-近红外全波段覆盖（325-1100nm）

6.NetzschDIL402Expedis热膨胀仪：真空环境测试能力（10⁻⁴mbar），升温速率0.001-50K/min

7.ZeissLSM900激光共聚焦显微镜：405-640nm多波长激发，三维重构精度5nm

8.AgilentCary7000全能型分光光度计：积分球附件支持漫反射/透射测量（波长范围175-3300nm）

9.OxfordInstrumentsSymmetryEBSD探测器：采集速度3000点/秒，角分辨率0.5

10.J.A.WoollamM-2000V椭圆偏振仪：70入射角测量精度0.01，支持动态变温测试