检测项目

1.静态位移精度：测量范围10mm，分辨率0.1μm

2.动态响应频率：带宽DC~50kHz，相位延迟≤0.1

3.线性度误差：全量程内≤0.05%FS

4.重复定位精度：3σ值≤0.3μm

5.温度漂移特性：-20℃~80℃范围内≤0.005%FS/℃

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆、GaN基板等薄膜应力变形

2.金属合金：钛合金/铝合金板材蠕变变形

3.高分子材料：工程塑料热膨胀系数测定

4.MEMS器件：微执行器位移特性验证

5.精密轴承：滚道表面形位公差检测

检测方法

ASTME2309-2020非接触式激光位移测量标准

ISO10360-7:2011坐标测量机动态误差评定

GB/T11336-2019直线度误差检测规范

GB/T16857-2008产品几何量技术规范(GPS)

ISO9283:2022工业机器人轨迹精度测试标准

检测设备

KeyenceLK-G5000：激光位移传感器，分辨率0.01μm，采样频率392kHz

MitutoyoLSM-5000：激光扫描测微仪，量程5mm，线性度0.02%FS

PolytecPSV-500：三维扫描式激光多普勒测振仪

RenishawXL-80：激光干涉仪系统，线性测量精度0.5ppm

ZeGagePlus3D：白光干涉轮廓仪，垂直分辨率0.1nm

InstronE10000：电液伺服试验机集成DIC系统

AliconaInfiniteFocusG5：光学3D表面位移分析仪

BrukerContourGT-X8：相干扫描干涉显微镜

HexagonAbsoluteArm7-Axis：多传感器复合式测量臂

NikonMM-400U：超精密坐标测量机，空间精度(1.5+L/300)μm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与电子位移检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。