检测项目
1.静态位移精度：测量范围10mm，分辨率0.1μm
2.动态响应频率：带宽DC~50kHz，相位延迟≤0.1
3.线性度误差：全量程内≤0.05%FS
4.重复定位精度：3σ值≤0.3μm
5.温度漂移特性：-20℃~80℃范围内≤0.005%FS/℃
检测范围
1.半导体材料：硅晶圆、GaN基板等薄膜应力变形
2.金属合金：钛合金/铝合金板材蠕变变形
3.高分子材料：工程塑料热膨胀系数测定
4.MEMS器件：微执行器位移特性验证
5.精密轴承：滚道表面形位公差检测
检测方法
ASTME2309-2020非接触式激光位移测量标准
ISO10360-7:2011坐标测量机动态误差评定
GB/T11336-2019直线度误差检测规范
GB/T16857-2008产品几何量技术规范(GPS)
ISO9283:2022工业机器人轨迹精度测试标准
检测设备
KeyenceLK-G5000：激光位移传感器，分辨率0.01μm，采样频率392kHz
MitutoyoLSM-5000：激光扫描测微仪，量程5mm，线性度0.02%FS
PolytecPSV-500：三维扫描式激光多普勒测振仪
RenishawXL-80：激光干涉仪系统，线性测量精度0.5ppm
ZeGagePlus3D：白光干涉轮廓仪，垂直分辨率0.1nm
InstronE10000：电液伺服试验机集成DIC系统
AliconaInfiniteFocusG5：光学3D表面位移分析仪
BrukerContourGT-X8：相干扫描干涉显微镜
HexagonAbsoluteArm7-Axis：多传感器复合式测量臂
NikonMM-400U：超精密坐标测量机，空间精度(1.5+L/300)μm