检测项目

临界角偏移量检测：测量精度±0.002°，动态范围30°-85°

薄膜厚度测量：分辨率0.1nm，适用厚度范围1nm-10μm

折射率分布分析：折射率测定精度±0.0005，波长范围300-1700nm

表面粗糙度表征：Ra检测下限0.2nm，横向分辨率1μm

界面粘附强度评估：应力检测范围0.1-100MPa，应变分辨率0.001%

检测范围

光学薄膜：包括增透膜、反射膜、滤光片等镀层器件

高分子材料：如PDMS、PET、PC等透明/半透明聚合物

半导体晶圆：硅基、GaAs基等外延层结构分析

金属涂层：真空镀膜、磁控溅射制备的金属/合金薄膜

生物传感器：表面等离子体共振（SPR）芯片及功能化界面

检测方法

ASTM E903-20：材料光学性质的积分球法测定标准

ISO 14782-2017：塑料透明材料雾度测量方法

GB/T 26323-2010：光学功能薄膜表面粗糙度测试方法

ISO 21748-2017：测量不确定度评定指南

GB/T 36540-2018：透明介质膜厚度的干涉测量法

检测设备

Filmetrics F20系列：光谱椭偏仪，支持350-1000nm波长，膜厚测量重复性±0.1nm

Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，垂直分辨率0.01nm，最大扫描范围10mm

Horiba UVISEL 2：宽谱椭偏系统，覆盖190-2100nm光谱范围

Zygo NewView 9000：相移干涉显微镜，配备100X Mirau物镜

KLA-Tencor P-7：表面轮廓仪，支持300mm晶圆全自动测量

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与全反射干涉检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。