检测项目
1.饱和磁化强度(Ms):测量范围0.1-2.5T,精度0.5%
2.矫顽力(Hc):横向/纵向分量测定,分辨率达0.1Oe
3.磁滞回线特性:最大磁场20kOe,扫描速率0.1-100Oe/s
4.磁导率(μ):频率范围20Hz-1MHz
5.薄膜厚度均匀性:台阶仪测量精度0.5nm
检测范围
1.纳米晶软磁合金薄膜(FeSiB、CoZrNb系)
2.磁记录介质(CoCrPt-SiO2垂直记录层)
3.巨磁阻传感器用多层膜(Fe/Cu、CoFe/NiFe)
4.微波吸收材料(FeNiMo/SiO2复合膜)
5.自旋电子器件用铁磁/非磁异质结(CoFeB/MgO)
检测方法
1.ASTMA894:振动样品磁强计法测定饱和磁矩
2.ISO21726:交变梯度磁强计测量薄膜矫顽力
3.GB/T13888-2020:磁光克尔效应测试各向异性常数
4.IEC60404-7:薄膜电阻率与磁致伸缩系数关联测试
5.GB/T3656-2008:铁磁共振法测定阻尼系数
检测设备
1.QuantumDesignPPMSDynaCool:综合物性测量系统(DC-14T磁场)
2.LakeShore7300系列VSM:灵敏度10-6emu
3.BrukerDimensionIconMFM:空间分辨率10nm
4.OxfordInstrumentsMagLabEXA:宽频阻抗分析仪(1mHz-5MHz)
5.KeysightB1500A半导体分析仪:I-V/C-V特性测试模块
6.KLATencorP-7台阶仪:0.1垂直分辨率
7.NeoceraCryogen-FreeLHe系统:低温环境控制(4K-400K)
8.HitachiHF5000透射电镜:配备洛伦兹透镜的磁畴观测
9.RHKTechnologyXA系列SPM:原位磁场加载模块
10.AgilentN5247A网络分析仪:铁磁共振谱测试系统