检测项目

1.折射率分布测量：波长范围400-1600nm，分辨率0.002

2.薄膜厚度分析：测量范围10nm-50μm，精度0.5%

3.表面粗糙度检测：Ra值测量范围0.1-100nm，横向分辨率50nm

4.光学均匀性评估：折射率波动≤510⁻⁵

5.色散特性测试：Abbe数测定误差≤0.5%

检测范围

1.光学玻璃：包括熔融石英、BK7等透镜材料

2.聚合物薄膜：PET/PC基材的AR/IR涂层

3.半导体晶圆：Si/SiC/GaN外延层结构

4.纳米涂层：ALD沉积的Al₂O₃/TiO₂多层膜

5.激光晶体：Nd:YAG/LiNbO₃波导器件

检测方法

ASTME903-20材料光谱反射率标准测试方法

ISO13697:2019光学薄膜反射率测量规范

GB/T26332.4-2022光学功能薄膜第4部分：折射率测试

ISO14706:2014表面化学分析-全反射X射线荧光光谱法

GB/T39489-2020纳米薄膜厚度测量通用技术条件

检测设备

1.ZygoNewView9000：白光干涉仪，三维形貌分析（RMS精度0.1nm）

2.FilmetricsF20：光谱椭偏仪，膜厚测量速度＜3s/点

3.BrukerDimensionIcon：原子力显微镜，横向分辨率0.2nm

4.HoribaUVISEL2：变角椭偏仪，入射角调节范围20-90

5.Keysight85052D：高精度介电探头套件（频率10MHz-50GHz）

6.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜（405nm激光源）

7.KLATencorP-17：表面轮廓仪（扫描长度200mm）

8.AgilentCary7000：全自动全能型分光光度计（波长175-3300nm）

9.NanometricsNanoDiffractHD：高分辨率X射线衍射仪（角度重复性0.0001）

10.VeecoDekTakXT：触针式轮廓仪（垂直分辨率0.01nm）