三维结构照明显微镜检测

检测项目

1.表面粗糙度测量：Sa0.1-100μm范围，Ra/Rz/Rq参数分析

2.薄膜厚度测定：0.5-500μm层厚测量精度2nm

3.纳米结构表征：特征尺寸50nm-10μm三维重构

4.台阶高度测量：1nm-1mm量程，重复性误差≤0.5%

5.缺陷深度分析：最小可检缺陷深度10nm（信噪比≥3:1）

6.微透镜阵列参数：曲率半径0.1-50mm测量精度0.1%

检测范围

1.半导体晶圆：硅片表面形貌、光刻胶厚度、TSV通孔深度

2.MEMS器件：微弹簧线宽、加速度计悬臂梁高度差

3.光学镀膜：AR膜层厚度分布、滤光片台阶高度

4.生物医学材料：人工关节表面粗糙度、药物缓释膜厚度

5.精密模具：模仁型腔尺寸、EDM加工纹路深度

6.显示面板：OLED像素点高度差、偏光膜微结构

检测方法

ASTME2544-22共聚焦显微镜三维表面测量标准方法

ISO25178-604:2013非接触式光学三维测量系统规范

GB/T3505-2020产品几何技术规范表面结构轮廓法术语定义

GB/T29531-2013纳米级长度扫描电镜测量方法通则

ISO14978:2018几何产品规范(GPS)测量设备通用要求

检测设备

1.ZygoNexviewNX2：白光干涉模式，最大视场1010mm

2.BrukerContourGT-X3：1200万像素CMOS，Z向分辨率0.01nm

3.OlympusOLS5100：405nm激光光源，XY重复精度0.1μm

4.SensofarSneox：多模式集成（干涉/共焦/聚焦变化）

5.KeyenceVK-X3000：4KCMOS+405nm激光双系统配置

6.NikonNEXIVVMZ-S454F：长工作距离物镜（WD=34mm）

7.ZeissLSM980withAiryscan2：512512像素高速扫描模块

8.LeicaDCM8：双物镜切换系统（5~150）

9.MitakaNH-3S：纳米压痕同步测量模块集成

10.KosakaET200：超精密气浮隔振平台（振动<10nmRMS）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"三维结构照明显微镜检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。