检测项目
1.量子化霍尔电阻平台稳定性:测量i=2平台电阻值(RK/2=12.906kΩ),波动范围≤0.1ppm
2.载流子浓度测定:二维电子气密度(ns)范围11011-51011cm-2,精度2%
3.迁移率测试:电子迁移率μ≥1106cm2/Vs(4.2K条件下)
4.温度稳定性验证:0.3K-4.2K温区内平台电阻变化量ΔR/R≤0.01ppm/K
5.磁场均匀性校准:14T超导磁体轴向均匀性≤0.001%/cm
检测范围
1.高纯度砷化镓异质结材料(GaAs/AlGaAs)
2.石墨烯基二维电子气器件(CVD法生长单层石墨烯)
3.拓扑绝缘体薄膜(Bi2Se3,Bi2Te3)
4.超导量子干涉器件(SQUID)基板材料
5.分子束外延(MBE)制备的HgTe/CdTe量子阱结构
检测方法
1.ASTMF76-08(2020):半导体材料载流子浓度四探针法
2.ISO/IEC17025:2017:量子电阻标准装置校准规范
3.GB/T13384-2008:低温环境下电子器件测试通用要求
4.IEC62539:2007:半导体材料霍尔效应测试导则
5.JJG1069-2011:量子化霍尔电阻基准操作规范
检测设备
1.QuantumDesignPPMSDynaCool:综合物性测量系统(温度范围0.05K-400K,磁场16T)
2.KeysightB1500A半导体分析仪:支持10fA分辨率电流测量
3.LakeShore372AC:超低温温度控制器(控温精度0.1mK@4.2K)
4.OxfordInstrumentsTeslatronPT:超导磁体系统(最大磁场14T,均匀度0.01%)
5.NanometricsHall200:霍尔效应测试系统(磁场范围1.5T,分辨率0.1μV)
6.Agilent3458A八位半数字万用表:基本DCV精度0.0006%
7.JanisResearchSHI-4-1:超流氦恒温器(最低温度1.5K,保持时间>72h)
8.ZurichInstrumentsMFLI锁相放大器:频率范围5mHz-5MHz,电流输入噪声<5fA/√Hz
9.Keithley6221交流/直流电流源:输出分辨率10pA,THD<0.003%
10.CryomagneticsCS4:4K闭循环制冷系统(零液氦消耗连续运行)