检测项目
1.表面电荷密度测定：测量范围0.1-1000μC/m，分辨率0.05μC/m
2.介电常数测试：频率范围1kHz-1MHz，精度0.5%
3.击穿电压强度：测试电压0-50kV/mm，步进精度0.1kV
4.电场强度分布：空间分辨率10μm，动态范围1-100kV/m
5.电荷衰减特性：时间常数测定范围1ms-1000s，温控精度0.5℃
检测范围
1.高分子绝缘材料（聚四氟乙烯、聚酰亚胺薄膜）
2.半导体晶圆及封装基板
3.纳米涂层功能材料（石墨烯薄膜、金属氧化物涂层）
4.电子元器件（电容器、高压连接器）
5.航空航天复合材料（碳纤维增强环氧树脂）
检测方法
ASTMD4470-2018《高电阻率固体电绝缘材料体积电阻率测试》
ISO28841-2019《静电学-表面电位测量方法》
GB/T16801-2013《绝缘材料耐电痕化和蚀损的测定》
IEC62631-3-1:2016《介电和电阻特性测试规范》
GB/T1410-2006《固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》
检测设备
TrekModel347静电电位计：非接触式表面电位测量，量程20kV
KeysightB1505A功率器件分析仪：击穿电压测试精度0.05%
Keithley6517B静电计：最小电流测量10aA，支持电荷衰减分析
MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：晶体结构对介电特性影响分析
Agilent4294A阻抗分析仪：介电常数测试频率40Hz-110MHz
HIOKIIM3570阻抗分析仪：四端对测量模式支持纳米材料测试
FLIRSC7000红外热像仪：电场热效应分布成像精度1℃
BrukerDimensionIcon原子力显微镜：纳米级表面电荷密度测绘
ESPECPCT-322气候箱：温度(-70℃~180℃)/湿度(10%~98%RH)控制测试环境