检测项目
1.双折射率测量:Δn=0.0001~0.01范围
2.光轴角偏差:测量精度0.01
3.相位延迟量:λ/100~20λ范围
4.晶体主轴方位角:分辨率0.005
5.应力双折射分布:空间分辨率≤1μm
检测范围
1.光学晶体:铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等单晶材料
2.液晶材料:向列相/近晶相液晶盒器件
3.光学薄膜:偏振片、相位延迟膜
4.激光晶体:YAG、蓝宝石(Al2O3)基片
5.微纳光学元件:波导器件、超表面结构
检测方法
1.ASTME837-20应力双折射测试标准
2.ISO10110-19:2015光学元件双折射规范
3.GB/T11297.1-2021激光晶体光学均匀性测试
4.ISO13653:2019光学系统偏振特性测量
5.GB/T31370.2-2020液晶显示器件光电参数测试
检测设备
1.OlympusBX53M-P偏光显微镜:配备SENARMONT补偿器,分辨率0.005λ
2.HindsInstrumentsPEM-100光电弹性调制系统:相位精度0.001λ
3.ThorlabsPAX1000VIS/M偏振分析仪:波长范围400-700nm
4.ShimadzuAIM-9000红外椭偏仪:光谱范围2-25μm
5.ZygoVerifireMST激光干涉仪:波前精度λ/1000@632.8nm
6.CRiAbrio偏振成像系统:空间分辨率20482048像素
7.AxometricsAxoScan穆勒矩阵椭偏仪:全穆勒矩阵测量速度10ms/点
8.PrismMasterUV双折射测量系统:紫外波段200-400nm测试能力
9.ZeissAxioImager2定量偏光系统:配备LC-PolScope模块
10.Metripol快速偏振成像仪:全场双折射分布测量速度30fps