检测项目

1.平整度公差：测量平面与基准面的最大允许偏差值（≤0.05mm/m）

2.尺寸精度误差：长度/宽度/厚度公差范围（0.01~0.5mm）

3.表面粗糙度：Ra值（0.1~6.3μm）及波纹度（Wt≤10μm）

4.平面度误差：基于最小二乘法计算的最大峰谷差值（≤0.1mm）

5.平行度公差：两平面间最大间距差（≤0.02mm/100mm）

检测范围

1.金属板材：铝合金/不锈钢/钛合金轧制件（厚度0.5~50mm）

2.塑料制品：注塑成型外壳/薄膜基材（厚度≥0.2mm）

3.玻璃面板：显示器件盖板/光学镜片（厚度1~12mm）

4.复合材料构件：碳纤维层压板/蜂窝夹芯结构（尺寸≤3m2m）

5.陶瓷基板：电子封装基片/耐磨衬板（厚度0.3~5mm）

检测方法

1.ASTME1155-20：采用电子水平仪进行连续平整度测试

2.ISO8512-1:2020：激光干涉法测量平面度误差

3.GB/T11337-2021：三点支撑法配合千分表实施平面度评定

4.ISO4287:2023：触针式轮廓仪测定表面粗糙度参数Ra/Rz

5.GB/T1958-2017：坐标测量机（CMM）执行三维平面分析

检测设备

1.MitutoyoCRYSTA-ApexS三坐标测量机：分辨率0.1μm，支持ISO10360校准规范

2.TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪：可测Ra0.01~50μm，符合ISO25178标准

3.KeyenceLJ-V7000激光位移传感器：非接触式测量精度0.02%F.S.

4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：便携式三维扫描精度达15μm

5.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，适用超精密表面分析

6.RenishawXL-80激光干涉系统：线性定位精度0.5ppm，满足ASMEB89标准

7.StarrettW479电子水平仪：量程2000角秒，分辨率0.001mm/m

8.OlympusDSX1000数码显微镜：20~7000倍率下实现亚微米级缺陷观测