检测项目

1.元素组成分析：采用X射线荧光光谱（XRF），检出限达0.01ppm-100%，精度0.5%

2.分子结构表征：傅里叶变换红外光谱（FTIR）覆盖4000-400cm⁻波段，分辨率≤0.5cm⁻

3.表面形貌观测：激光共聚焦拉曼光谱（Raman）空间分辨率≤1μm，光谱范围200-4000cm⁻

4.薄膜厚度测量：椭圆偏振光谱（SE）精度0.1nm，适用10nm-10μm膜层

5.缺陷检测分析：光致发光光谱（PL）灵敏度达1012cm⁻缺陷浓度

检测范围

1.金属合金：铝合金中Si/Mg含量测定（GB/T20975）

2.半导体材料：GaN外延层载流子浓度（ASTMF1392）

3.高分子材料：PE/PP共混物结晶度分析（ISO11357）

4.生物医药：蛋白质二级结构FTIR定量（USP<857>）

5.纳米材料：量子点尺寸分布拉曼表征（ISO/TS21346）

检测方法

ASTME1621-13X射线荧光光谱法测定金属元素

ISO15470:2017表面化学分析-X射线光电子能谱通则

GB/T6040-2019红外光谱分析方法通则

GB/T32651-2016拉曼光谱法测定石墨烯层数

ISO14707:2015辉光放电光谱法镀层厚度测量

检测设备

ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪：配备DTGS检测器及ATR附件

BrukerSENTERRAII激光拉曼系统：532/785/1064nm三波长激发源

HoribaLabRAMHREvolution：共焦模式空间分辨率达300nm

ShimadzuEDX-7000XRF分析仪：Rh靶X光管（50kV/1mA）

J.A.WoollamM-2000V椭圆偏振仪：190-1700nm宽谱测量

PerkinElmerLambda950UV-Vis-NIR：波长范围175-3300nm

RenishawinViaQontor显微拉曼系统：配备532nm激光及低温台

AgilentCary630FTIR：专用聚合物薄膜透射分析模块

BrukerD8ADVANCEXRD系统：Cu靶Kα辐射（λ=1.5406）

OceanInsightQEPro光谱仪：200-1100nm高灵敏度QE探测器