检测项目

1.几何尺寸测量：长度0.005mm/宽度0.005mm/孔径0.003mm

2.表面粗糙度分析：Ra0.1-6.3μm/Rz0.5-25μm/Sm0.01-2.5mm

3.轮廓度偏差：直线度≤0.01mm/圆度≤0.005mm/平行度≤0.008mm

4.形位公差验证：位置度0.01mm/对称度0.015mm/垂直度≤0.012mm

5.边缘清晰度评估：倒角半径R0.05-R5mm/毛刺高度≤10μm

检测范围

1.金属冲压件：厚度0.1-6mm的钢板/铝板/铜板成型件

2.PCB电路板：线宽≥50μm的4-32层电路基板

3.光学元件：直径5-300mm的透镜/棱镜/滤光片

4.精密模具：公差等级IT5-IT7的模仁/模板组件

5.半导体晶圆：直径100-300mm硅片的切割道与标记点

检测方法

ASTME2919-14数字图像相关法测量平面应变

ISO10360-7坐标测量机验收与复检规范

GB/T24633.2-2021产品几何技术规范表面结构区域法

ISO25178-602非接触式共聚焦显微镜测量标准

GB/T1958-2017产品几何量技术规范形状和位置公差检测规定

检测设备

1.OGPSmartScopeZIP450：多传感影像测量系统，XYZ轴精度(1.5+L/100)μm

2.KeyenceIM-8000系列：高精度图像尺寸测量仪，重复精度0.3μm

3]ZeissO-INSPECT543：复合式三坐标测量机，最大允许误差MPEE=1.9+L/350μm

4]MitutoyoQuickVisionPro：自动影像测量仪，解析度0.1μm@20倍物镜

5]BrukerContourGT-X8：白光干涉三维轮廓仪，垂直分辨率0.01nm

6]OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，XY分辨率120nm/Z轴1nm

7]HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：便携式扫描系统，单点精度15μm

8]NikonNEXIVVMZ-S656T：双镜头视频测量系统，放大倍率35X-4200X

9]AliconaInfiniteFocusG5：焦点变化三维测量仪，Z分辨率10nm

10]FAROEdgeScanArmHD：激光扫描测量臂，采样速率460,000点/秒