检测项目
1.几何尺寸测量：长度0.005mm/宽度0.005mm/孔径0.003mm
2.表面粗糙度分析：Ra0.1-6.3μm/Rz0.5-25μm/Sm0.01-2.5mm
3.轮廓度偏差：直线度≤0.01mm/圆度≤0.005mm/平行度≤0.008mm
4.形位公差验证：位置度0.01mm/对称度0.015mm/垂直度≤0.012mm
5.边缘清晰度评估：倒角半径R0.05-R5mm/毛刺高度≤10μm
检测范围
1.金属冲压件：厚度0.1-6mm的钢板/铝板/铜板成型件
2.PCB电路板：线宽≥50μm的4-32层电路基板
3.光学元件：直径5-300mm的透镜/棱镜/滤光片
4.精密模具：公差等级IT5-IT7的模仁/模板组件
5.半导体晶圆：直径100-300mm硅片的切割道与标记点
检测方法
ASTME2919-14数字图像相关法测量平面应变
ISO10360-7坐标测量机验收与复检规范
GB/T24633.2-2021产品几何技术规范表面结构区域法
ISO25178-602非接触式共聚焦显微镜测量标准
GB/T1958-2017产品几何量技术规范形状和位置公差检测规定
检测设备
1.OGPSmartScopeZIP450：多传感影像测量系统，XYZ轴精度(1.5+L/100)μm
2.KeyenceIM-8000系列：高精度图像尺寸测量仪，重复精度0.3μm
3]ZeissO-INSPECT543：复合式三坐标测量机，最大允许误差MPEE=1.9+L/350μm
4]MitutoyoQuickVisionPro：自动影像测量仪，解析度0.1μm@20倍物镜
5]BrukerContourGT-X8：白光干涉三维轮廓仪，垂直分辨率0.01nm
6]OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，XY分辨率120nm/Z轴1nm
7]HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：便携式扫描系统，单点精度15μm
8]NikonNEXIVVMZ-S656T：双镜头视频测量系统，放大倍率35X-4200X
9]AliconaInfiniteFocusG5：焦点变化三维测量仪，Z分辨率10nm
10]FAROEdgeScanArmHD：激光扫描测量臂，采样速率460,000点/秒