检测项目
平面度误差：测量表面与理想平面偏差值（范围0.1μm至50μm）
垂直度公差：评估两平面/轴线正交性（精度等级IT5-IT12）
角度偏差分析：计算实际角度与理论值差异（分辨率0.001）
投影轮廓比对：三维模型与CAD设计数据匹配度（容差0.02mm）
曲面曲率半径：测定非规则曲面几何特性（测量范围R0.1mm-R5000mm）
检测范围
光学透镜及棱镜组件（直径Φ1mm-Φ500mm）
精密模具成型工作面（硬度HRC45-HRC62）
半导体晶圆切割基板（厚度0.1mm-1.2mm）
航空航天涡轮叶片（表面粗糙度Ra0.2-Ra3.2）
医疗器械植入物（钛合金/陶瓷材质）
检测方法
ASTME177-20几何公差测量不确定度评定方法
ISO1101:2017产品几何技术规范(GPS)公差原则
GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测规定
ASMEB89.3.4-2010圆柱度测量标准
JISB7440-3:2016三次元测量机性能评价方法
检测设备
三坐标测量机MitutoyoCRYSTA-ApexS：配备RENISHAWSP25M扫描探头（空间精度1.9+L/250μm）
激光干涉仪RenishawXL-80：线性测量分辨率0.001μm（最大量程80m）
白光轮廓仪BrukerContourGT-X8：垂直分辨率0.1nm（Z轴量程10mm）
数字投影仪NikonNEXIVVMZ-S656F：放大倍率20X-2000X（重复精度0.5μm）
圆度仪TaylorHobsonTalyrond585LT：径向测量精度0.01μm（最大工件重量150kg）
激光跟踪仪LeicaAT960：绝对测距精度15μm+6μm/m（工作距离80m）
光学比较仪OGPSmartScopeZIP250：影像系统分辨率0.3μm（载台行程250150mm）
表面粗糙度仪MahrMarSurfLD260：触针半径2μm（评估长度0.25-25mm）