检测项目
表面粗糙度:Ra≤0.8μm|Rz≤6.3μm(触针式测量)
平面度公差:局部起伏≤0.05mm/m(激光干涉法)
光泽度:60入射角下GU值偏差≤5%(ISO2813)
涂层厚度:干膜厚度误差3μm(磁性测厚法)
微观划痕:长度>200μm且深度>0.2μm缺陷识别
检测范围
金属板材:冷轧钢板/铝合金板/铜箔(厚度0.1-6mm)
光学膜材:PET离型膜/偏光片/增亮膜(幅宽≤1500mm)
印刷基材:UV涂层纸/镭射转移膜(克重80-300g/m)
电子元件:FPC柔性电路板/晶圆衬底(尺寸≤300mm)
陶瓷基板:氧化铝/氮化铝基板(厚度0.25-1.0mm)
检测方法
ASTMD523-14(2018)镜面光泽度标准测试方法
ISO4287:1997表面粗糙度轮廓法术语定义
GB/T29591-2013表面粗糙度测量方法
ISO25178-2:2012三维表面纹理分析规范
GB/T11344-2008接触式超声波测厚方法
检测设备
BrukerContourGT-X3三维光学轮廓仪:0.1nm垂直分辨率
MitutoyoSJ-410粗糙度仪:触针半径2μm/量程350μm
Elcometer456涂层测厚仪:磁感应原理/1%精度
KeyenceVHX-7000数字显微镜:5000倍景深合成功能
ZeGagePlus激光干涉仪:λ/1000平面度测量精度
Byko-Test8500划痕测试仪:20N载荷可调划针系统
HunterLabUltraScanVIS分光光度计:10nm波长间隔
Olympus38DLPLUS超声波测厚仪:0.05mm分辨率