散焦相位衬度检测

检测项目

1.表面粗糙度测量：Ra0.1-100nm范围精度0.05nm

2.相位位移量分析：λ/1000级灵敏度（λ=632.8nm）

3.薄膜厚度测定：10nm-50μm多层结构解析

4.微结构三维形貌重建：XY分辨率≤200nm

5.缺陷密度统计：最小可检缺陷尺寸50nm50nm

检测范围

1.半导体晶圆：硅片、GaN基板表面缺陷检测

2.光学薄膜：AR/IR镀膜层厚均匀性分析

3.MEMS器件：微机电系统结构应力分布测量

4.生物医学材料：人工晶体表面改性层表征

5.精密光学元件：非球面透镜面形误差评估

检测方法

ASTME2867-18光学元件散射特性测试规范

ISO13696:2002光学元件总散射光测量方法

GB/T34879-2017微纳结构几何特征测量方法

GB/T26189-2010光学表面散射特性测试标准

ISO25178-604:2013非接触式光学轮廓仪校准规范

检测设备

1.ZygoNewView9000：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm

2.BrukerContourGT-X3：3D光学轮廓仪，最大扫描范围10mm10mm

3.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，1200万像素CCD

4.KeyenceVK-X3000：多波长干涉系统，支持300mm晶圆测量

5.TaylorHobsonCCIHD：相干扫描干涉仪，重复性0.01nm

6.SensofarSneox：三合一光学轮廓仪（PSI/VSI/CSI模式）

7.NikonEclipseL200N：微分干涉显微镜搭配16bit科学相机

8.LeicaDCM8：双物镜干涉系统支持10~150放大倍率

9.PolytecMSA-600：微系统分析仪集成激光多普勒测振模块

10.4DTechnologyPhaseCam6000：动态干涉仪采样率25kHz

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"散焦相位衬度检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。