检测项目

1.曲率半径误差：测量范围0.1μm至50μm，精度0.05%

2.表面粗糙度Ra值：分辨率0.01nm，测量区间0.1nm-10μm

3.椭圆度偏差：轴向偏差≤0.5μm/100mm

4.非对称性系数：量化分析Zernike多项式前15项像差

5.局部斜率误差：角度分辨率0.001，空间采样密度512512像素

检测范围

1.非球面光学透镜（直径Φ3mm-Φ500mm）

2.自由曲面反射镜（PV值≤λ/20@632.8nm）

3.半导体晶圆表面形貌（厚度100-800μm）

4.精密注塑模具型腔（硬度HRC58-62）

5.MEMS微结构阵列（特征尺寸≥5μm）

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范

2.ASTME284-17表面纹理特征标准术语

3.GB/T1800.1-2020产品几何技术规范(GPS)基础

4.ISO14978:2018几何量测量设备通用要求

5.GB/T6062-2009表面粗糙度比较样块检定规程

检测设备

1.ZygoNewView9000：白光共焦干涉仪，垂直分辨率0.1nm

2.BrukerContourGT-X3：3D光学轮廓仪，最大扫描范围10mm10mm

3.TaylorHobsonPGIOptics：非接触式曲面测量系统，重复精度3nm

4.MitutoyoQuickVisionPro：影像测量系统，光学放大倍率20X-200X

5.OlympusLEXTOLS5000：激光共焦显微镜，横向分辨率120nm

6.KeyenceVR-6000：三维形貌重建系统，点云密度1600万点/秒

7.JenoptikWaveline：多波长干涉仪，支持Φ600mm大口径测量

8.PanasonicUA3P：超精密三坐标仪，空间精度(1.2+L/400)μm

9.ZeissO-INSPECT：复合式测量机，集成接触式与光学探头

10.NikonNEXIVVMZ-S6540：数字显微镜系统，最大倍率3500X

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与共焦二次曲线检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。