检测项目
1.曲率半径误差：测量范围0.1μm至50μm，精度0.05%
2.表面粗糙度Ra值：分辨率0.01nm，测量区间0.1nm-10μm
3.椭圆度偏差：轴向偏差≤0.5μm/100mm
4.非对称性系数：量化分析Zernike多项式前15项像差
5.局部斜率误差：角度分辨率0.001，空间采样密度512512像素
检测范围
1.非球面光学透镜（直径Φ3mm-Φ500mm）
2.自由曲面反射镜（PV值≤λ/20@632.8nm）
3.半导体晶圆表面形貌（厚度100-800μm）
4.精密注塑模具型腔（硬度HRC58-62）
5.MEMS微结构阵列（特征尺寸≥5μm）
检测方法
1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范
2.ASTME284-17表面纹理特征标准术语
3.GB/T1800.1-2020产品几何技术规范(GPS)基础
4.ISO14978:2018几何量测量设备通用要求
5.GB/T6062-2009表面粗糙度比较样块检定规程
检测设备
1.ZygoNewView9000：白光共焦干涉仪，垂直分辨率0.1nm
2.BrukerContourGT-X3：3D光学轮廓仪，最大扫描范围10mm10mm
3.TaylorHobsonPGIOptics：非接触式曲面测量系统，重复精度3nm
4.MitutoyoQuickVisionPro：影像测量系统，光学放大倍率20X-200X
5.OlympusLEXTOLS5000：激光共焦显微镜，横向分辨率120nm
6.KeyenceVR-6000：三维形貌重建系统，点云密度1600万点/秒
7.JenoptikWaveline：多波长干涉仪，支持Φ600mm大口径测量
8.PanasonicUA3P：超精密三坐标仪，空间精度(1.2+L/400)μm
9.ZeissO-INSPECT：复合式测量机，集成接触式与光学探头
10.NikonNEXIVVMZ-S6540：数字显微镜系统，最大倍率3500X