检测项目

1.晶格常数偏差：测量异质材料界面处晶格失配度（0.02精度）

2.热膨胀系数差异：分析温度变化下界面应力（范围：-196℃~1200℃）

3.界面缺陷密度：定量表征位错/层错密度（分辨率≤10⁶cm⁻）

4.晶体取向偏差：测定相邻晶体取向差角（精度0.05）

5.应变场分布：三维应变场建模（空间分辨率≤5nm）

6.外延层厚度：测量异质外延层厚度（误差1nm）

检测范围

1.III-V族半导体材料（GaAs/AlGaAs,InP/InGaAs等）

2.光伏薄膜材料（CdTe/CdS,CIGS/Mo等）

3.超晶格量子阱结构（GaN/AlN,SiGe/Si等）

4.金属氧化物异质结（TiO₂/SrTiO₃,ZnO/Al₂O₃等）

5.二维材料堆叠体系（石墨烯/h-BN,MoS₂/WS₂等）

6.高温超导薄膜（YBCO/STO,BSCCO/MgO等）

检测方法

1.ASTME975-20X射线衍射法测定残余应力

2.ISO24173:2019电子背散射衍射晶体取向分析

3.GB/T3949-2021透射电镜位错密度测定规范

4.JISH7804:2018激光显微拉曼应变测量法

5.GB/T36075-2018原子力显微镜表面形貌分析

6.ISO22262-3:2017X射线能谱成分映射技术

检测设备

1.PANalyticalX'PertMRDXL：高分辨率X射线衍射仪（0.0001步进精度）

2.JEOLJEM-ARM300F：原子分辨率球差校正透射电镜（STEM模式0.08nm分辨率）

3.BrukerDimensionIcon：峰值力定量纳米力学原子力显微镜

4.ThermoFisherScios2DualBeam：聚焦离子束-扫描电镜联用系统

5.MalvernPanalyticalEmpyrean：三维X射线显微CT系统（0.5μm体素分辨率）

6.OxfordInstrumentsSymmetryEBSD：电子背散射衍射系统（全自动菊池花样分析）

7.RenishawinViaQontor：共聚焦拉曼光谱仪（532/785nm双激光源）

8.Keysight9500AFM：超高真空原子力显微镜（低温至800℃变温测试）

9.RigakuSmartLabSE：薄膜专用高分辨XRD（入射角0.05~90可调）

10.ZeissLSM900：激光共聚焦显微镜（405-640nm多波长激发）