检测项目
1.纯度分析：主成分SiH4含量≥99.999%（体积分数）
2.水分含量：H2O≤0.5ppm（体积比）
3.金属杂质：Fe≤0.1ppb、Cu≤0.05ppb（ICP-MS法）
4.气体成分：O2≤1ppm、N2≤2ppm（气相色谱法）
5.颗粒物浓度：≥0.1μm颗粒≤5个/m（激光粒子计数器）
检测范围
1.电子级四氢化硅（纯度6N以上）
2.光伏用硅烷气体（AMAT认证规格）
3.半导体外延生长原料（12英寸晶圆级）
4.特种气体储运容器（316L不锈钢材质）
5.化学气相沉积工艺尾气（含SiH4残留物）
检测方法
ASTME260-2019：气相色谱法测定气体成分
ISO14644-1:2015：洁净室颗粒物测试规范
GB/T14852-2020：电子工业用气体中水分的测定
SEMIC3.41-1108：半导体级硅烷技术指标
GB/T37244-2018：高纯电子级SiH4技术要求
检测设备
Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器系统
METTLERTOLEDOC30卡尔费休水分仪：分辨率0.1μgH2O
ParticleMeasuringSystemsClimetCI-3100：0.1μm级颗粒计数
ThermoScientificiCAPRQICP-MS：ppt级金属杂质分析
SiemensUltramat23红外分析仪：O2/N2在线监测模块
MKSSpectraMaxIIFTIR：气体分子结构验证系统
SystechIllinoisEC913氧分析仪：极限氧含量测定
HoribaPG-350烟气分析仪：工艺尾气多组分联测装置