检测项目

1.纯度分析：主成分SiH4含量≥99.999%（体积分数）

2.水分含量：H2O≤0.5ppm（体积比）

3.金属杂质：Fe≤0.1ppb、Cu≤0.05ppb（ICP-MS法）

4.气体成分：O2≤1ppm、N2≤2ppm（气相色谱法）

5.颗粒物浓度：≥0.1μm颗粒≤5个/m（激光粒子计数器）

检测范围

1.电子级四氢化硅（纯度6N以上）

2.光伏用硅烷气体（AMAT认证规格）

3.半导体外延生长原料（12英寸晶圆级）

4.特种气体储运容器（316L不锈钢材质）

5.化学气相沉积工艺尾气（含SiH4残留物）

检测方法

ASTME260-2019：气相色谱法测定气体成分

ISO14644-1:2015：洁净室颗粒物测试规范

GB/T14852-2020：电子工业用气体中水分的测定

SEMIC3.41-1108：半导体级硅烷技术指标

GB/T37244-2018：高纯电子级SiH4技术要求

检测设备

Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器系统

METTLERTOLEDOC30卡尔费休水分仪：分辨率0.1μgH2O

ParticleMeasuringSystemsClimetCI-3100：0.1μm级颗粒计数

ThermoScientificiCAPRQICP-MS：ppt级金属杂质分析

SiemensUltramat23红外分析仪：O2/N2在线监测模块

MKSSpectraMaxIIFTIR：气体分子结构验证系统

SystechIllinoisEC913氧分析仪：极限氧含量测定

HoribaPG-350烟气分析仪：工艺尾气多组分联测装置

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与四氢化硅检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。