检测项目

1.空间分辨率测试：最小可分辨线宽0.5-200μm范围

2.灰度对比度分析：动态范围≥70dB@1000:1

3.边缘扩散函数(ESF)：MTF50值测量精度0.02

4.纹理保真度：频率响应20-2000lp/mm

5.畸变率测定：径向畸变≤0.15%@全视场

检测范围

1.光学玻璃及晶体材料（BK7、熔融石英等）

2.金属精密加工件（航空铝合金、钛合金结构件）

3.高分子聚合物薄膜（PET、PC光学级基材）

4.半导体晶圆表面（12英寸硅片图形缺陷）

5.涂层/镀层体系（AR增透膜、硬质涂层）

检测方法

ASTME2540-16光学系统调制传递函数测试规程

ISO9039:2019光学系统畸变测定方法

GB/T17409-2018光学传递函数测量方法

ISO12233:2017电子成像分辨率测试图规范

GB/T19863-2005轮廓表面结构测量仪器计量特性校准规范

检测设备

MitutoyoQV-302PRO三维轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，XYZ轴重复精度0.05μm

OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：405nm激光波长，12000光学放大倍率

BrukerContourGT-X3白光干涉仪：1垂直分辨率，100mm100mm测量范围

KeyenceVHX-7000数字显微镜：4KCMOS传感器，景深合成精度0.1μm

JenoptikProgResGFscan扫描系统：5000万像素CCD，16bit灰度深度

NikonMM-400测量显微镜：物镜NA0.95，载物台定位精度0.3μm

ZeissAxioImagerM2m金相显微镜：微分干涉对比(DIC)系统配置

ShimadzuAIM-9000红外热像仪：640512像素InSb探测器，NETD＜18mK

HexagonLeitzPMM-C超高精度三坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm

MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：Cu靶Kα辐射源(λ=1.5406)