检测项目

1.表面粗糙度：Ra值范围0.01-0.1μm（接触式测量），Sa值范围0.05-0.5μm（非接触式三维测量）

2.光泽度：60角测量GU值80-120（ASTMD523标准光源）

3.微观划痕：宽度≤5μm、深度≤50nm（白光干涉仪检测）

4.残留颗粒物：粒径≤0.3μm（SEM-EDS联用分析）

5.反射率：波长400-700nm范围内≥95%（分光光度计测量）

检测范围

1.金属材料：不锈钢（304/316L）、钛合金（TC4）、铝合金（6061-T6）抛光件

2.陶瓷材料：氧化铝（Al₂O₃）、氮化硅（Si₃N₄）精密陶瓷元件

3.光学玻璃：BK7、熔融石英（SiO₂）透镜及棱镜

4.复合材料：碳化硅颗粒增强铝基（SiC/Al）表面镀层

5.半导体材料：单晶硅片（Φ200mm/Φ300mm）、砷化镓晶圆抛光面

检测方法

1.ASTME430-2021《高光泽表面20、60和85镜面光泽标准测试方法》

2.ISO4287:2023《几何产品规范(GPS)表面结构：轮廓法术语、定义及表面结构参数》

3.GB/T29505-2013《硅片表面粗糙度的测试方法》

4.ISO25178-2:2022《几何产品规范(GPS)表面结构：区域法第2部分：术语、定义及表面结构参数》

5.GB/T13841-1992《电子陶瓷表面粗糙度测量方法》

检测设备

1.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：触针式测量，分辨率0.8nm，符合ISO1997标准

2.Elcometer480多角度光泽度计：20/60/85三角度测量，精度0.1GU

3.ZygoNewView9000三维形貌仪：120μm120μm视场下垂直分辨率0.1nm

4.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：405nm激光光源，最大放大倍率15000

5.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：白光干涉技术，扫描速度50μm/s@1nm分辨率

6.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：405nm激光+12nm超分辨技术

7.ThermoScientificPrismaESEM扫描电镜：1nm分辨率@15kV,EDS能谱附件

8.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长范围185-3300nm,积分球反射附件

9.BrukerDektakXT台阶仪：12mm量程下0.01分辨率

10.Agilent5500原子力显微镜：接触/轻敲双模式，XY分辨率0.2nm