检测项目

1.表面形貌分析：分辨率0.1μm，三维高度测量精度0.05μm

2.微缺陷检测：最小可识别缺陷尺寸1μm，深度误差≤5%

3.几何尺寸测量：线性尺寸重复性误差≤0.3μm

4.材料成分分布：能谱分析元素检出限≥0.1wt%

5.涂层厚度测定：多层结构分层精度达10nm

检测范围

1.金属材料：铝合金晶界分析、钛合金疲劳裂纹检测

2.电子元件：PCB焊点空洞率测定、芯片封装分层扫描

3.复合材料：碳纤维铺层角度偏差测量（0.5）

4.光学元件：镜面面形精度PV值≤λ/20@632.8nm

5.生物样本：细胞膜三维重构精度50nm

检测方法

1.ASTME2544-2019：三维表面形貌测量规范

2.ISO25178-2:2022：表面粗糙度参数定义与计算

3.GB/T27760-2011：扫描电镜能谱定量分析方法

4.GB/T17394.2-2012：金属覆盖层厚度测量-X射线光谱法

5.ISO1463:2022：金相显微镜校准规范

检测设备

1.KeyenceVHX-7000：4K数字显微镜，最大放大倍数6000x

2.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，Z轴分辨率1nm

3.ZeissSigma500：场发射扫描电镜，二次电子分辨率0.8nm@15kV

4.HitachiSU5000：热场发射电镜，低电压模式分辨率1.2nm@1kV

5.BrukerContourElite：白光干涉仪，垂直分辨率0.01nm

6.NikonEclipseTi2：共聚焦显微镜系统，405-785nm多波长光源

7.LeicaDCM8：3D表面测量仪，最大扫描面积100100mm

8.ThermoFisherScios2：双束电镜系统，FIB加工精度5nm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与高分辨率扫描检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。