偏振干涉仪检测

检测项目

1.光学元件面形误差：PV值≤λ/20（λ=632.8nm），RMS≤λ/100

2.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶（@633nm）

3.厚度均匀性：轴向偏差≤0.1μm（Φ200mm样品）

4.双折射分布：Δn≤1nm/cm（晶体材料）

5.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（超光滑表面）

检测范围

1.光学玻璃：K9、熔石英等透射元件

2.晶体材料：石英晶体、氟化钙(CaF₂)、硅(Si)等

3.薄膜涂层：增透膜(AR)、反射膜(HR)的应力分布

4.光学透镜：非球面透镜、自由曲面透镜的面形精度

5.偏振器件：波片、偏振片的相位延迟量

检测方法

ASTME903-20：基于干涉法的光谱反射率测试规范

ISO10110-5:2015：光学元件面形公差标注标准

GB/T7962.4-2010：晶体材料双折射测试方法

ISO14997:2012：光学表面缺陷检测标准

GB/T13323-2009：激光干涉仪校准规范

检测设备

ZygoVerifire™HDX：4D相位测量干涉仪，分辨率0.1nm

BrukerDekTakXT：白光干涉轮廓仪，扫描范围150mm150mm

TriopticsOptiCentric100：透镜中心偏测量系统，精度0.5μm

ShimadzuAIM-9000：红外干涉仪，波长范围1-14μm

4DTechnologyPhaseCam6000：动态干涉仪，振动抑制＞100Hz

TaylorHobsonCCIHD：非接触式表面轮廓仪，垂直分辨率0.01

NikonNEXIVVMZ-S6860：激光共聚焦显微镜，放大倍率50-5000X

RenishawXL-80激光干涉系统：线性测量精度0.5ppm

HindsInstrumentsPEM-100：光弹调制器双折射测量系统

LambdaSolutionsF20-ex：薄膜应力分析仪，曲率半径测量精度1m⁻