检测项目
1.表面电位分布：测量范围20kV/m，分辨率≤0.1V
2.电场强度梯度：精度2%，量程0-50kV/m
3.电荷衰减时间：测试周期0.1s-3600s，温度控制0.5℃
4.介电常数测定：频率范围1kHz-1MHz，误差≤0.5%
5.体积电阻率：测试电压DC100V-1000V，环境湿度≤30%RH
检测范围
1.半导体晶圆与封装材料
2.高分子绝缘薄膜（PET/PC/PI）
3.金属镀层与防静电涂料
4.电子元器件封装壳体
5.航空航天复合材料层压板
检测方法
GB/T12703.7-2020《纺织品静电性能第7部分：动态静电压测定》
ASTMD257-14《绝缘材料直流电阻测试标准》
ISO3915:2022《塑料-体积电阻率测定》
GB/T1410-2006《固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》
IEC61340-2-3:2016《静电学第2-3部分：测量方法-电荷衰减》
检测设备
1.Keithley6517B静电计：分辨率0.1fA，最大电压1kV
2.Trek347型高压电源：输出20kVDC，精度0.05%
3.Monroe284A表面电位扫描仪：扫描速度10cm/s，空间分辨率1mm
4.AgilentE4980ALCR表：频率范围20Hz-2MHz，基本精度0.05%
5.Electro-TechSystemsModel718电荷衰减测试台：温度范围-40℃~150℃
6.MitsubishiChemicalSM-8220介电常数分析仪：测试厚度0.01-10mm
7.SimcoFMX-003静电场强计：量程20kV/m带温湿度补偿
8.HIOKIIM3570阻抗分析仪：四端对测量模式支持10mΩ~100MΩ
9.KeysightB2987A超高阻计：最大电阻测量10PΩ@1000V
10.OphirPD300-PJ高精度功率探头：响应时间20ns@50kV脉冲