2025-05-27 01:42:32
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概述：检测项目1.周期精度检测：测量光栅周期偏差值（5nm），采用傅里叶变换分析法2.线宽均匀性检测：横向线宽波动范围≤3%，纵向一致性误差≤1.5%3.刻槽深度一致性检测：深度公差10nm（500nm基准深度）4.基底平整度检测：表面粗糙度Ra≤0.8nm（测量面积11mm）5.衍射效率测试：一级衍射效率≥85%（波长632.8nm）检测范围1.半导体材料：硅基/石英基光刻掩膜版（线宽0.5-10μm）2.光学薄膜：多层介质膜光栅（周期200-1200nm）3.微纳器件：MEMS振动传感器阵列（单元尺寸505
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
1.周期精度检测：测量光栅周期偏差值（5nm），采用傅里叶变换分析法
2.线宽均匀性检测：横向线宽波动范围≤3%，纵向一致性误差≤1.5%
3.刻槽深度一致性检测：深度公差10nm（500nm基准深度）
4.基底平整度检测：表面粗糙度Ra≤0.8nm（测量面积11mm）
5.衍射效率测试：一级衍射效率≥85%（波长632.8nm）
1.半导体材料：硅基/石英基光刻掩膜版（线宽0.5-10μm）
2.光学薄膜：多层介质膜光栅（周期200-1200nm）
3.微纳器件：MEMS振动传感器阵列（单元尺寸5050μm）
4.激光元件：高功率衍射光学元件（损伤阈值＞5J/cm）
5.显示面板：裸眼3D光栅膜（倾斜角450.5）
ASTME2863-18《光学元件表面形貌测试规程》
ISO10110-8:2020《光学系统制图第8部分：表面结构》
GB/T13962-2009《光学仪器术语》衍射效率测试条款
GB/T26184-2010《显微物镜数值孔径测量方法》
ISO14978:2018《几何产品规范(GPS)测量设备通用要求》
1.ZygoNewView9000白光干涉仪：三维形貌测量（垂直分辨率0.1nm）
2.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：非接触式表面粗糙度分析（横向分辨率0.5μm）
3.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：亚微米级线宽测量（重复精度0.01μm）
4.RenishawinVia显微拉曼光谱仪：应力分布与材料特性分析（空间分辨率1μm）
5.ShimadzuAIM-9000红外成像仪：热变形与缺陷定位（温度灵敏度0.02℃）
6.Keysight5500原子力显微镜：纳米级表面形貌表征（Z轴分辨率0.05nm）
7.ThorlabsBP209-IR2光束分析仪：衍射效率实时测量（波长范围400-1600nm）
8.NikonMM-400测量显微镜：几何参数自动识别（放大倍率50X-1000X）
9.AgilentCary7000分光光度计：透射/反射光谱特性测试（波长精度0.08nm）
10.ZeissSigma500场发射电镜：微观结构形貌观测（分辨率1nm@15kV）
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
以上是与"二维光栅检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。
专业分析各类金属、非金属材料的成分、结构与性能，提供全面检测报告和解决方案。包括金属材料力学性能测试、高分子材料老化试验、复合材料界面分析等。
精准检测各类化工产品的成分、纯度及物理化学性质，确保产品质量符合国家标准。服务涵盖有机溶剂分析、催化剂表征、高分子材料分子量测定等。
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