检测项目
1.晶体形貌分析:测量晶面比例(0.5%)、晶棱曲率半径(0.1-100μm)及表面粗糙度(Ra≤50nm)
2.晶面夹角测量:测定{100}/{111}等主要晶面间夹角(精度0.1)
3.晶型稳定性测试:温度循环范围-196℃~300℃,湿度控制10-95%RH
4.晶体尺寸分布统计:粒径测量范围0.01-500μm,D50值误差≤2%
5.晶体缺陷识别:位错密度检测下限10^4/cm,包裹体尺寸分辨率0.1μm
检测范围
1.金属单晶材料:包括镍基高温合金、钛铝合金等航空航天用晶体
2.半导体晶体:硅/锗单晶衬底、GaN外延层等电子级材料
3.药物活性成分:API原料药多晶型物(如利托那韦Ⅰ/Ⅱ型)
4.无机非金属晶体:压电陶瓷(PZT)、激光晶体(Nd:YAG)
5.高分子聚合物晶体:聚乙烯球晶、聚丙烯β晶型等
检测方法
1.ASTME112-13《测定平均晶粒度的标准试验方法》
2.ISO22214-2020《精细陶瓷-扫描电镜法测定晶粒尺寸》
3.GB/T23458-2009《电子背散射衍射分析方法通则》
4.ASTMF1877-20《半导体单晶晶向测定的标准规程》
5.GB/T37227-2018《药物多晶型X射线衍射鉴定方法》
6.ISO13067-2021《微束分析-电子背散射衍射取向测量》
检测设备
1.HitachiSU5000场发射扫描电镜:配备EBSD探头,空间分辨率1nm
2.RigakuSmartLabX射线衍射仪:9kW旋转阳极光源,2θ角精度0.0001
3.MalvernMastersizer3000激光粒度仪:测量范围0.01-3500μm
4.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:分辨率XY0.2nm/Z0.05nm
5.ZeissAxioImagerA2m偏光显微镜:透反射双模式,最大倍率1000
6.NetzschDSC214差示扫描量热仪:温度范围-170℃~700℃
7.OxfordInstrumentsSymmetryEBSD探测器:采集速度3000点/秒
8.AgilentCary630FTIR红外光谱仪:光谱范围350-7800cm⁻
9.LeicaEMTXP精密切割机:最小切片厚度10μm
10.StruersTegramin-30自动磨抛机:压力控制精度1N