化学汽相淀积检测

检测项目

1.薄膜厚度测量：精度1nm（范围50nm-50μm）

2.成分分析：元素含量偏差≤0.5at%

3.表面粗糙度：Ra值0.1-10nm区间测定

4.附着力测试：划痕法临界载荷≥20N

5.残余应力检测：压应力/拉应力范围500MPa

检测范围

1.半导体材料：硅基/碳化硅基CVD外延层

2.金属镀层：钨/钼/钛等难熔金属沉积层

3.陶瓷涂层：氮化铝/碳化硅防护镀膜

4.光学镀膜：二氧化硅/氟化镁多层膜系

5.聚合物薄膜：聚酰亚胺/Parylene功能涂层

检测方法

ASTMF1241-2018CVD膜厚椭偏测量法

ISO14606:2015X射线光电子能谱成分分析

GB/T16525-2017半导体晶圆表面缺陷检验规程

ASTMC1624-2015CVD涂层划痕附着力测试

GB5237.5-2016铝合金建筑型材氟碳涂层检测

检测设备

1.J.A.WoollamM-2000椭偏仪：0.01nm厚度分辨率

2.ThermoFisherESCALABXi+XPS系统：元素探测限0.1at%

3.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：0.05nm纵向分辨率

4.CSMRevetest划痕测试仪：最大载荷100N精度0.1N

5.RigakuSmartLabX射线衍射仪：应力分析精度10MPa

6.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：三维形貌重建功能

7.Agilent7900ICP-MS：ppb级杂质元素定量分析

8.ZygoNewView9000白光干涉仪：表面粗糙度测量重复性0.02nm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"化学汽相淀积检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。