检测项目
1.分辨率验证：最小可识别线宽0.5μm-50μm
2.光学畸变率测定：最大允许偏差0.03%
3.透光率测试：波长范围380-780nm
4.色差分析：ΔE≤1.5（CIELab标准）
5.表面粗糙度测量：Ra值0.01-10μm
检测范围
1.光学玻璃及晶体材料
2.半导体晶圆与微电子元件
3.功能性涂层（AR/AG/AF膜层）
4.高分子薄膜与柔性显示基材
5.精密注塑光学器件
检测方法
ASTME903-20材料透光率光谱测试方法
ISO9039:2008光学系统畸变测定规范
GB/T13323-2009光学零件表面粗糙度测量方法
ISO13653:2019光学系统相对照度测试规程
GB/T7921-2008均匀色空间色差公式应用指南
检测设备
MitutoyoCMM-CrystaApexS776：三坐标测量系统，空间精度1.5μm+L/250
PerkinElmerLambda950：双光束分光光度计，波长精度0.08nm
BrukerContourGT-X8：白光干涉三维表面轮廓仪，垂直分辨率0.1nm
NikonNEXIVVMZ-S656F：数字影像测量仪，最大放大倍率3500X
MalvernPanalyticalMorphologi4：自动颗粒形态分析系统，粒径范围0.5-1000μm
OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，横向分辨率120nm
KonicaMinoltaCA-310：色度分析仪，测量角度2/10可选
KeyenceVR-5000：三维形貌重建系统，扫描速度300mm/s
ZeissAxioImagerM2m：金相显微镜配置ECEpiplan物镜组