检测项目

1.分辨率验证：最小可识别线宽0.5μm-50μm

2.光学畸变率测定：最大允许偏差0.03%

3.透光率测试：波长范围380-780nm

4.色差分析：ΔE≤1.5（CIELab标准）

5.表面粗糙度测量：Ra值0.01-10μm

检测范围

1.光学玻璃及晶体材料

2.半导体晶圆与微电子元件

3.功能性涂层（AR/AG/AF膜层）

4.高分子薄膜与柔性显示基材

5.精密注塑光学器件

检测方法

ASTME903-20材料透光率光谱测试方法

ISO9039:2008光学系统畸变测定规范

GB/T13323-2009光学零件表面粗糙度测量方法

ISO13653:2019光学系统相对照度测试规程

GB/T7921-2008均匀色空间色差公式应用指南

检测设备

MitutoyoCMM-CrystaApexS776：三坐标测量系统，空间精度1.5μm+L/250

PerkinElmerLambda950：双光束分光光度计，波长精度0.08nm

BrukerContourGT-X8：白光干涉三维表面轮廓仪，垂直分辨率0.1nm

NikonNEXIVVMZ-S656F：数字影像测量仪，最大放大倍率3500X

MalvernPanalyticalMorphologi4：自动颗粒形态分析系统，粒径范围0.5-1000μm

OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，横向分辨率120nm

KonicaMinoltaCA-310：色度分析仪，测量角度2/10可选

KeyenceVR-5000：三维形貌重建系统，扫描速度300mm/s

ZeissAxioImagerM2m：金相显微镜配置ECEpiplan物镜组