检测项目

1.宏观力学性能测试：室温/高温拉伸测试，压缩测试，弯曲测试，硬度测试。

2.微观与纳米力学性能测试：纳米压痕测试，微柱压缩测试，划痕测试。

3.蠕变与应力松弛分析：恒温恒载蠕变测试，应力松弛行为测试，蠕变断裂寿命评估。

4.疲劳性能评估：低周疲劳测试，高周疲劳测试，热机械疲劳测试。

5.断裂力学参数测定：断裂韧性测试，裂纹扩展速率测定。

6.残余应力分析：晶圆弯曲法应力测量，X射线衍射法残余应力分析。

7.薄膜与涂层结合强度测试：薄膜剥离强度测试，界面剪切强度测试，鼓泡法测试。

8.焊点与互连可靠性测试：焊球剪切测试，焊球拉拔测试，凸点剪切强度测试。

9.材料本构关系表征：流动应力曲线测定，应变速率敏感性指数测定，加工硬化行为分析。

10.高温变形行为研究：高温压缩变形测试，再结晶行为观察，动态回复分析。

11.环境因素影响测试：湿热环境下力学性能测试，辐照后塑性行为分析。

检测范围

硅晶圆、锗晶圆、砷化镓晶圆、碳化硅晶圆、氮化镓外延片、集成电路芯片、各类半导体封装体、引线框架、焊锡球、铜柱凸点、金丝键合线、铝键合线、芯片粘接材料、塑封料、晶圆背面镀膜、钝化层薄膜、金属互连层、阻挡层薄膜、低介电常数介质层、硅通孔结构

检测设备

1.万能材料试验机：用于执行拉伸、压缩、弯曲等宏观力学测试；具备高精度载荷与位移传感器，可适配高低温环境箱。

2.纳米压痕仪：用于测量薄膜、微小区域或材料的纳米尺度硬度与弹性模量；可进行压痕蠕变、动态力学分析等功能。

3.动态热机械分析仪：用于研究材料在交变应力下的粘弹性行为与热机械疲劳性能；可精确控制温度与力学载荷频率。

4.微力测试系统：用于进行微柱压缩、微梁弯曲等微尺度力学实验；集成光学显微镜或扫描探针进行精确定位与观测。

5.高温蠕变试验机：专门用于评估材料在高温长期载荷下的蠕变变形与断裂行为；具备精密恒温与载荷保持能力。

6.扫描电子显微镜：用于对塑性变形后的样品进行高分辨率形貌观察；可分析断口形貌、滑移带、裂纹扩展路径等。

7.X射线衍射应力分析仪：通过测量晶格畸变来无损测定材料表面或特定深度的残余应力状态。

8.聚焦离子束系统：用于制备微纳米尺度的力学测试样品；可加工微柱、微梁等特定结构以供后续测试。

9.焊点强度测试仪：专门用于评估焊球、凸点等互连结构的剪切强度与拉拔强度；测试工具头可精密对位。

10.划痕测试仪：用于评价薄膜与基体间的结合强度；通过金刚石压头划擦并监测声发射、摩擦力变化来判定失效临界载荷。