检测项目

1.表面腐蚀形貌检测：点蚀形貌观察，面蚀区域识别，腐蚀裂纹分布分析，腐蚀产物附着状态评估。

2.金属层腐蚀分析：铝层腐蚀检测，铜层腐蚀检测，焊盘腐蚀评估，引线框架腐蚀分析。

3.封装界面腐蚀检测：芯片与封装界面腐蚀，键合区腐蚀观察，模封材料接触面腐蚀评估，分层伴生腐蚀分析。

4.键合失效相关检测：金丝腐蚀分析，铜丝氧化腐蚀检测，键合点变色评估，颈部腐蚀损伤识别。

5.焊接部位腐蚀检测：焊点腐蚀分析，焊料表面氧化评估，焊盘电化学腐蚀检测，焊接残留诱发腐蚀识别。

6.离子污染与残留检测：氯离子残留检测，钠离子残留检测，钾离子残留检测，助焊残留污染评估。

7.腐蚀产物成分分析：金属氧化物成分识别，卤化腐蚀产物分析，硫化腐蚀产物分析，杂质元素来源排查。

8.截面腐蚀深度检测：腐蚀坑深度测量，金属层减薄分析，界面侵蚀路径观察，局部穿透腐蚀评估。

9.环境诱导腐蚀评估：湿热腐蚀敏感性检测，盐雾暴露后腐蚀观察，高温高湿条件下失效分析，污染气氛腐蚀响应评估。

10.介质层与钝化层劣化检测：钝化层破损观察，介质层开裂分析，防护层起泡评估，微区渗透腐蚀检测。

11.电迁移与腐蚀耦合分析：导线迁移痕迹观察，枝晶生长检测，偏压条件下腐蚀失效评估，短路通道形成分析。

12.失效定位与根因分析：腐蚀源定位，失效区域识别，材料相容性排查，工艺残留导致腐蚀分析。

检测范围

集成电路芯片、逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片、功率芯片、传感芯片、裸芯片、封装芯片、塑封器件、陶瓷封装器件、引线框架封装器件、球栅阵列封装器件、扁平封装器件、晶圆、电路裸片、键合丝、焊点、引脚、焊盘、封装基板

检测设备

1.光学显微镜：用于表面腐蚀形貌初步观察，可识别变色、裂纹、腐蚀斑点及宏观损伤区域。

2.扫描电子显微镜：用于微区腐蚀形貌放大观察，可分析点蚀、晶间腐蚀、裂纹扩展及界面损伤特征。

3.能谱分析仪：用于腐蚀区域元素组成检测，可辅助判断腐蚀产物类型及污染来源。

4.金相显微镜：用于截面组织观察，可评估金属层减薄、腐蚀深度及多层结构受损情况。

5.离子色谱仪：用于可溶性离子残留分析，适用于氯离子、钠离子、钾离子等污染物检测。

6.表面轮廓仪：用于测量腐蚀坑深度、表面起伏及局部侵蚀程度，可进行微米级形貌评估。

7.聚焦离子束系统：用于微区定点切割和截面制样，便于观察芯片内部腐蚀路径与界面失效结构。

8.红外光谱仪：用于有机残留物和封装材料劣化分析，可辅助识别腐蚀诱因中的化学污染成分。

9.环境试验设备：用于模拟湿热、高温高湿等腐蚀环境，可开展环境诱导腐蚀敏感性评估。

10.电参数测试系统：用于检测腐蚀前后器件电性能变化，可辅助判断腐蚀对导通、绝缘及失效模式的影响。